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龙图腾网获悉上海馨欧集成微电有限公司申请的专利声波谐振器结构及其声波器件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118100853B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410133135.9，技术领域涉及：H03H9/17；该发明授权声波谐振器结构及其声波器件是由张丽萍;吴进波设计研发完成，并于2024-01-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本声波谐振器结构及其声波器件在说明书摘要公布了：本发明提供一种的声波谐振器结构及其声波器件，通过改变声波谐振器在厚度方向的堆叠结构，以支撑衬底层和或介质层内设置降速区，可调控目标声波在声波谐振器孔径方向上的速度轮廓曲线，改变高阶横向杂散模式在孔径区末端边界的传播条件，减小其能量积分，有效抑制和消除杂散响应，减小通带的插入损耗和杂波干扰，实现平坦的滤波通带。本发明提供的声波谐振器及声波器件的结构简单，仅需对支撑衬底和或介质层进行工艺预处理，无需破坏或损伤压电层的完整性，亦无需对叉指电极做变形设计，从而是一种简单有效的抑制高阶横向杂散模式的设计方案。

本发明授权声波谐振器结构及其声波器件在权利要求书中公布了：1.一种声波谐振器结构，其特征在于，所述声波谐振器结构包括： 支撑衬底； 压电层，所述压电层位于所述支撑衬底的上表面； 图案化电极，所述图案化电极位于所述压电层的上表面，其中，所述图案化电极在声波传播方向上包括中央叉指区和位于所述中央叉指区两侧的反射栅区，在孔径方向上所述中央叉指区包括第一汇流条区、第一空气隙区、孔径区、第二空气隙区和第二汇流条区； 降速区，所述降速区自所述支撑衬底的上表面沿厚度方向向下延伸，且至少包括位于孔径区末端及空气隙区中的一种或组合的正下方所对应区域中，且在孔径方向上，所述降速区对称分布，通过所述降速区降低对应区域的所述压电层的目标声波声速，以调控目标声波在声波谐振器孔径方向上的速度轮廓曲线，改变高阶横向杂散模式在孔径区末端边界的传播条件，减小其能量积分，有效抑制和消除杂散响应，其中，在声波传播方向上，以一个叉指周期作为单位1，所述降速区的占空比为0.5~1；在声波传播方向上，在一个叉指周期内，所述降速区为中心对称；所述降速区的预设深度为1µm以下，且所述降速区的厚度大于50nm。

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