杭州中欣晶圆半导体股份有限公司郭建岳获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州中欣晶圆半导体股份有限公司申请的专利PFA管路内壁清洗的装置及其控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118268328B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410366360.7，技术领域涉及：B08B9/027；该发明授权PFA管路内壁清洗的装置及其控制方法是由郭建岳;王方立设计研发完成，并于2024-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本PFA管路内壁清洗的装置及其控制方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种PFA管路内壁清洗的装置及其控制方法，所属硅片加工设备技术领域，包括进液管、冲洗管和药液箱，通过进液管和冲洗管分别与PFA管路两端相管接头进行连接，所述的药液箱内设有隔板，通过隔板将药液箱分成混配腔和回收腔，所述的进液管与回收腔间设有回液管，所述的回液管上设有滤芯，所述的冲洗管与混配腔间设有抽液管，所述的抽液管与冲洗管间设有上设有隔膜泵。具有结构简单、运行稳定性好、安全可靠和节能降本的优点。解决了PFA管材研磨液结晶的问题。通过清洁管路，实现对管路的循环使用。
本发明授权PFA管路内壁清洗的装置及其控制方法在权利要求书中公布了：1.一种PFA管路内壁清洗的装置，其特征在于：包括进液管1、冲洗管12和药液箱27，通过进液管1和冲洗管12分别与PFA管路两端的管接头进行连接，所述的药液箱27内设有隔板，通过隔板将药液箱27分成混配腔和回收腔，所述的进液管1与回收腔间设有回液管29，所述的回液管29上设有滤芯33，所述的冲洗管12与混配腔间设有抽液管26，所述的抽液管26与冲洗管12间设有隔膜泵11；所述的滤芯33上、抽液管26与隔膜泵11间均设有氮气管5和超纯水管7，所述的氮气管5与超纯水管7呈并联式结构，所述的氮气管5与滤芯33间设有AV2气动阀6，所述的氮气管5与抽液管26间设有AV5气动阀10，所述的超纯水管7与滤芯33间设有AV3气动阀8，所述的超纯水管7与抽液管26间设有AV4气动阀9。
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