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龙图腾网获悉西北工业大学申请的专利一种高温MEMS壁面传感器及封装方法和用途获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118623920B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410640078.3，技术领域涉及：G01D11/24；该发明授权一种高温MEMS壁面传感器及封装方法和用途是由马炳和;刘赟哲;罗剑;刘朋涛;姚茂云;石磊;彭龙设计研发完成，并于2024-05-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种高温MEMS壁面传感器及封装方法和用途在说明书摘要公布了：本发明涉及一种高温MEMS壁面传感器及封装方法和用途，包括具有定向结构和内外螺纹的外壳，台阶式结构的MEMS芯片，与MEMS芯片的基底层在焊接空间内焊接的绝缘支撑件，与MEMS芯片的器件层浮动接触的弹簧针，固定绝缘支撑件的弹性紧固件，进行信号传输的高温导线以及接入电源的圆形插头，以按照各构件的位置关系完成高温MEMS壁面传感器的封装。本公开采用的焊接方式可以提高高温下MEMS芯片与支撑结构固接的可靠性，提高MEMS芯片电信号传输的可靠性，实现各构件之间的电绝缘，且能够实现MEMS芯片与壁面的齐平安装，传感器与壁面的固定，降低振动导致的松动、断裂等问题，提高传感器在振动环境下的适应性。

本发明授权一种高温MEMS壁面传感器及封装方法和用途在权利要求书中公布了：1.一种高温MEMS壁面传感器，其特征在于包括外壳1、MEMS芯片2、绝缘支撑件3、弹簧针4、弹性紧固件5、高温导线6和插头7；外壳1的顶端为定向头11，定向头中部设有不规则形状的容置腔，定向头11下部为外螺纹结构连接内螺纹结构；定向头11下部的外壳1内的腔体内放置绝缘支撑件3，绝缘支撑件3的上端的凸台形状与容置腔相吻合，下端设有与内螺纹结构连接的弹性紧固件5；容置腔内放置MEMS芯片2，MEMS芯片2的下端浮动接触弹簧针4；弹簧针4穿过绝缘支撑件3，弹簧针4连接高温导线6，高温导线6与插头7连接； 所述定向头11的横截面的宽度大于螺杆横截面的宽度，椭圆形沉头结构，用于所述高温MEMS壁面传感器在壁面的定向与安装； 所述MEMS芯片2包括器件层和基底层，所述基底层为透明材料且面积大于所述器件层，用于形成台阶式结构，以具有焊接空间；所述MEMS芯片2的基底层上设有多个通孔，且与所述器件层键合形成多个盲孔，用于使所述弹簧针周长较小的一端通过所述盲孔浮动接触所述器件层，以进行信号传输。

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