厦门大学王凌云获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉厦门大学申请的专利一种基于杠杆结构的高差压灵敏度双膜谐振式压力传感器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118730380B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410859347.5，技术领域涉及：G01L13/00；该发明授权一种基于杠杆结构的高差压灵敏度双膜谐振式压力传感器是由王凌云;李佳音;王小文;程至印设计研发完成，并于2024-06-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于杠杆结构的高差压灵敏度双膜谐振式压力传感器在说明书摘要公布了：一种基于杠杆结构的高差压灵敏度双膜谐振式压力传感器，涉及一种压力传感器。提出一种利用放大横向位移的杠杆传递结构。该传感器采用静电激励压阻检测，包括上下感压膜层、上下玻璃层、结构层、衬底层以及杠杆层，其中感压层、衬底层、结构层采用硅材料制作，衬底层由BF33硼硅玻璃制作；感压层由主要用于承受载荷压力，当承受载荷压力时，压力膜片产生变形，从而带动感压膜片上的硅岛产生位移，硅岛通过连接的杠杆结构将横向位移放大并传递至谐振器层，进而使谐振层上的谐振梁产生轴向内应力，使谐振器谐振频率发生变化从而对压力进行表征，玻璃层作为封装层，用于形成高真空密封空腔。
本发明授权一种基于杠杆结构的高差压灵敏度双膜谐振式压力传感器在权利要求书中公布了：1.一种基于杠杆结构的高差压灵敏度双膜谐振式压力传感器，其特征在于从下至上依次设有下感压层、下玻璃层、杠杆层、下衬底层、上衬底层、结构层、上玻璃层、上感压层； 所述上感压层、下感压层、上衬底层、下衬底层、结构层均采用硅材料制作，衬底层由BF33硼硅玻璃制作；所述上感压层和下感压层用于承受载荷压力，当承受载荷压力时，压力膜片产生变形，从而带动其他各层质量块偏转，各层质量块通过杠杆层及上衬底层与下衬底层连接的杠杆结构将横向位移放大并传递至结构层，进而使结构层上的谐振梁产生轴向内应力，使谐振器谐振频率发生变化从而对压力进行表征；所述上玻璃层、下玻璃层作为封装层，用于形成高真空密封空腔； 所述上感压层包括上感压膜和4个电极孔，所述下感压层包括下感压膜；上感压膜位于上感压层一侧，下感压膜位于下感压层一侧，成反向对称分布；上下感压膜将检测到的压力变形传递至传感器各层结构的盖板，上下感压膜对称分布，4个电极孔位于上感压层四周。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人厦门大学，其通讯地址为：361005 福建省厦门市思明区思明南路422号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励