哈尔滨工业大学李鸿获国家专利权
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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利一种法拉第探针装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118962224B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411064935.6,技术领域涉及:G01R19/08;该发明授权一种法拉第探针装置是由李鸿;钟超;于达仁设计研发完成,并于2024-08-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种法拉第探针装置在说明书摘要公布了:一种法拉第探针装置,它包含屏蔽极、收集极、外壳、绝缘件和底板;所述收集极包含收集筒和收集底座;收集极设置在外壳内,并被外壳覆盖,外壳安装于底板,收集筒的一端封闭且开有端孔,收集筒的另一端敞口,收集筒的封闭端设置于收集底座,收集底座设置于底板,收集底座和底板上排布有出气孔,端孔与出气孔错位布置,在收集筒的轴线方向上,绝缘件、屏蔽极和外壳上设置同轴心的通孔,通孔与收集筒敞口相通,屏蔽极和收集极能分别受电,屏蔽极用于产生排斥电子和收集离子鞘层,收集极用于对进入收集筒内的离子所产生的反射离子和二次电子再收集。本发明采用外壳屏蔽探针内部的鞘层,杜绝传统法拉第探针鞘层膨胀的问题,提高了测量精度。
本发明授权一种法拉第探针装置在权利要求书中公布了:1.一种法拉第探针装置,其特征在于:包含屏蔽极1、收集极、外壳4、绝缘件A5、绝缘件B6和底板7; 所述收集极包含收集筒2和收集底座3;收集极设置在外壳4内,并被外壳4覆盖,外壳4安装于底板7,收集筒2的一端封闭且开有端孔,收集筒2的另一端敞口,收集筒2的封闭端设置于收集底座3,收集底座3设置于底板7,收集底座3和底板7上排布有出气孔,端孔与出气孔错位布置,收集筒2的敞口端由下至上依次布置有绝缘件B6、屏蔽极1和绝缘件A5,在收集筒2的轴线方向上,绝缘件B6、屏蔽极1、绝缘件A5和外壳4上设置同轴心的通孔,通孔与收集筒2敞口相通,屏蔽极1和收集极能分别受电,屏蔽极1用于产生排斥电子和收集离子鞘层,收集极用于收集进入收集筒2内的离子,并对进入收集筒2内的离子所产生的反射离子和二次电子再收集。
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