宸微设备科技(苏州)有限公司严亮获国家专利权
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龙图腾网获悉宸微设备科技(苏州)有限公司申请的专利加热器控制装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119028874B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411123481.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权加热器控制装置是由严亮;孙海阳;冉璇设计研发完成，并于2024-08-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本加热器控制装置在说明书摘要公布了：一种加热器控制装置，加热器控制装置包括：可编程控制器，包括第一通信端口；调功器，包括第二通信端口，且第一通信端口与第二通信端口信号连接；多个相互串接的电连接器，电连接器包括印刷电路板、以及与印刷电路板的一端部电连接的导电柱，相邻电连接器的印刷电路板之间通过导电柱电连接，且最靠近调功器的印刷电路板的另一端部与调功器电连接；静电卡盘，最靠近静电卡盘的导电柱与静电卡盘电连接。电连接器为物理硬件装置，调功器通过硬连接的方式与静电卡盘实现电连接，提高加热器控制装置的稳定性，调功器与静电卡盘之间通过多个相互串接的电连接器相电连接，避免线缆走线对系统的阻抗造成影响的风险，进一步提高加热器控制装置的稳定性。
本发明授权加热器控制装置在权利要求书中公布了：1.一种加热器控制装置，其特征在于，包括： 可编程控制器，包括第一通信端口和第一IO端口； 调功器，包括第二通信端口，且所述第一通信端口与第二通信端口信号连接； 多个相互串接的电连接器，所述电连接器包括印刷电路板、以及与所述印刷电路板的一端部电连接的导电柱，相邻所述电连接器的印刷电路板之间通过所述导电柱电连接，且最靠近所述调功器的印刷电路板的另一端部与所述调功器电连接； 静电卡盘，最靠近所述静电卡盘的导电柱与所述静电卡盘电连接； 射频电源，所述射频电源具有第三通信端口，所述第三通信端口与所述第一通信端口信号连接，且所述射频电源与所述静电卡盘电连接； 滤波盒，所述滤波盒的电源输入端与所述调功器电连接，所述滤波盒的电源输出端与最靠近所述滤波盒的印刷电路板电连接，且所述滤波盒包括第二IO端口，所述第二IO端口与第一IO端口信号连接。
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