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深圳市诺信博通讯有限公司王中健获国家专利权

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龙图腾网获悉深圳市诺信博通讯有限公司申请的专利一种新型的基板切割方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119057261B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411477058.5,技术领域涉及:B23K26/38;该发明授权一种新型的基板切割方法是由王中健;屈锟设计研发完成,并于2024-10-22向国家知识产权局提交的专利申请。

一种新型的基板切割方法在说明书摘要公布了:本发明涉及激光切割控制技术领域,本发明提供的一种新型的基板切割方法,本发明通过获取基板切割任务数据和设备数据,利用数字孪生模型生成实时待切割基板影像,并通过基板切割模拟模型进行模拟切割,与切割目标数据对比提升质量。若切割合格,则预测成本;若成本不符合目标,则优化模拟模型。对切割步骤进行聚类分析并优化,使用优化后的模型模拟筛选出最佳切割步骤。本发明有效提高了半导体基板切割的效率和良率,降低了制作成本,解决了现有技术中基板良率低导致成本增加的问题。

本发明授权一种新型的基板切割方法在权利要求书中公布了:1.一种新型的基板切割方法,其特征在于,包括: 步骤S101,获取基板切割任务数据以及基板切割设备数据,基板切割任务数据包括基板切割目标数据以及基板切割参数标准,基板切割设备数据包括基板切割设备运行设备状态、切割设备精度以及切割设备所处环境信息,切割设备所处环境信息包括温度、湿度、尘埃浓度; 步骤S102,根据基板切割任务数据,采集待切割基板尺寸数据以及待切割基板位置数据,将待切割基板尺寸数据以及待切割基板位置数据代入预设的数字孪生模型中,生成实时待切割基板影像数据; 步骤S103,将实时待切割基板影像数据代入预设基板切割模拟模型中,得到基板切割模拟结果,将基板切割模拟结果与基板切割目标数据进行对比,得到基板切割对比结果; 步骤S104,若基板切割对比结果中为基板切割合格,则将基板切割对比结果代入预设的基板切割成本模型中,得到基板切割成本预测结果,若基板切割成本预测结果不符合基板切割目标数据,则将基板切割模拟模型采用遗传算法进行优化,得到优化后的基板切割模拟模型; 步骤S105,使用优化后的基板切割模拟模型对实时待切割基板影像数据进行处理,得到实时待切割基板数据集合,将实时待切割基板数据集合内的数据进行聚类分析,得到实时待切割基板数据聚类分析结果,若实时待切割基板数据聚类分析结果低于基板切割目标数据,则对基板切割步骤进行优化,接收基板切割步骤数据组,优化后的基板切割模拟模型使用依次使用基板切割步骤数据组内的切割步骤,得到多组切割步骤模拟结果,将多组切割步骤模拟结果代入预设的基板切割成本模型中,得到多组切割步骤成本预测结果,在多组切割步骤成本预测结果中筛选出符合基板切割目标数据的切割步骤作为实时基板切割步骤,将实时基板切割步骤发送至基板切割设备; 所述步骤S104,包括: 根据基板切割模拟模型的参数和变量,选择合适的编码方式来表示每个个体,每个个体代表一组切割参数; 初始化一个包含多个个体的种群,每个个体都代表一种的切割方案; 对于种群中的每个个体,将其代入基板切割模拟模型中,得到切割模拟结果; 根据切割模拟结果与基板切割目标数据的对比,计算每个个体的适应度值; 根据适应度值,采用锦标赛选择方法,从种群中选择出适应度较高的个体作为父代; 对选出的父代个体进行交叉操作,通过交换基因片段或重组染色体,生成新的子代个体,对子代个体进行变异操作, 重复执行适应度评估、选择、交叉与变异操作,直到达到预设的迭代次数或满足其他停止条件。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳市诺信博通讯有限公司,其通讯地址为:518000 广东省深圳市南山区西丽街道西丽社区文苑街35号西丽新源工业厂区1栋(聚创金谷创意园A栋)201;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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