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昆明物理研究所起文斌获国家专利权

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龙图腾网获悉昆明物理研究所申请的专利一种碲镉汞p-on-n结构材料p型层厚度的测量方法及应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119252747B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411263134.2,技术领域涉及:H01L21/66;该发明授权一种碲镉汞p-on-n结构材料p型层厚度的测量方法及应用是由起文斌;宋林伟;孔金丞;王文金;邓文斌;宁卓;杨晋;张阳;黄元晋;李达设计研发完成,并于2024-09-10向国家知识产权局提交的专利申请。

一种碲镉汞p-on-n结构材料p型层厚度的测量方法及应用在说明书摘要公布了:本发明公开了一种碲镉汞p‑on‑n结构材料p型层厚度的测量方法及应用,该方法通过测量不同厚度下碲镉汞p‑on‑n结构材料的载流子浓度和迁移率,确定载流子浓度和迁移率随厚度的变化曲线,基于变化曲线上载流子浓度和迁移率趋于稳定的拐点精准确定p型层的厚度。该方法操作简单,准确性高,可为后端的器件工艺参数设计提供参考,支撑高性能p‑on‑n结构红外探测器的批量生产。该方法同时可为碲镉汞p‑on‑n结构材料制备工艺参数的调整提供参考,为材料质量的优化提供保障。

本发明授权一种碲镉汞p-on-n结构材料p型层厚度的测量方法及应用在权利要求书中公布了:1.一种碲镉汞p-on-n结构材料p型层厚度的测量方法,其特征在于,包括以下步骤: 1准备p-on-n结构碲镉汞材料以及n型陪片,对p-on-n结构碲镉汞材料以及n型陪片进行相同条件下的汞饱和退火处理,进行汞空位的消除,所述陪片与所述p-on-n结构碲镉汞材料中的n型材料采用相同的生长条件,它们的截止波长相近; 2测量p-on-n结构碲镉汞材料和n型陪片的原始厚度,分别记为h0、ha; 3清洁材料表面并去除氧化层,测量p-on-n结构碲镉汞材料和n型陪片的载流子浓度、迁移率,分别记为N0、μ0以及Na、μa; 4采用化学腐蚀液腐蚀p-on-n结构碲镉汞材料,去除厚度为h; 5测量剩余材料的厚度,记为h1,并再次测试剩余材料的载流子浓度和迁移率,分别记为N1、μ1; 6不断重复步骤4和步骤5得到多次腐蚀后p-on-n结构碲镉汞材料的多个剩余厚度h2、h3、…、hi,以及多个载流子浓度N2、N3、…、Ni和多个迁移率μ2、μ3、…、μi,其中表示腐蚀的次数,i≥2; 7绘制Ni和μi随腐蚀次数i的变化曲线,在曲线上确定Ni和μi都趋于稳定的拐点,同时该拐点位置的载流子浓度和迁移率同n型陪片的载流子浓度Na和迁移率μa相近,记录拐点的腐蚀次数为ip; 8确定p型层厚度,所述p型层的厚度hp为原始材料厚度h0与拐点厚度hip之差hp=h0-hip。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人昆明物理研究所,其通讯地址为:650223 云南省昆明市五华区教场东路31号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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