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西安电子科技大学刘琛获国家专利权

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龙图腾网获悉西安电子科技大学申请的专利一种自驱动人工触觉传感器阵列及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119268890B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411309164.2,技术领域涉及:G01L1/14;该发明授权一种自驱动人工触觉传感器阵列及其制备方法是由刘琛;王瑞勃;高睿怡;张玉明设计研发完成,并于2024-09-19向国家知识产权局提交的专利申请。

一种自驱动人工触觉传感器阵列及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种自驱动人工触觉传感器阵列及其制备方法,包括:多个阵列排布的单元,单元包括摩擦纳米发电机和突触晶体管;摩擦纳米发电机包括第一衬底、第一摩擦层和第二摩擦层,第一摩擦层包括第一支部和第二支部,第一支部设置在第一衬底上,第二支部设置在第一支部上,第二支部为锯齿状;突触晶体管包括第二衬底、有源区和栅介质层,有源区设置在第二衬底上,栅介质层覆盖在有源区暴露出的表面上,栅介质层复用为摩擦纳米发电机的第二摩擦层;其中,第一摩擦层的第二支部与第二摩擦层接触分离,产生摩擦电。本发明能够实现自驱动仿生触觉功能。

本发明授权一种自驱动人工触觉传感器阵列及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种自驱动人工触觉传感器阵列,其特征在于,包括:多个阵列排布的单元,所述单元包括摩擦纳米发电机和突触晶体管; 所述摩擦纳米发电机包括第一衬底、第一摩擦层和第二摩擦层,所述第一摩擦层包括第一支部和第二支部,所述第一支部设置在所述第一衬底上,所述第二支部设置在所述第一支部上,所述第二支部为锯齿状;其中,所述第一摩擦层的材料包括尼龙、羊毛、蚕丝、橡胶、丁腈、铜箔、铝箔、聚四氟乙烯、聚丙烯、聚乙烯、聚二甲基硅氧烷、聚酰亚胺中的任意一种; 所述突触晶体管包括第二衬底、有源区和栅介质层,所述有源区设置在所述第二衬底上,所述栅介质层覆盖在所述有源区暴露出的表面上,所述栅介质层复用为所述摩擦纳米发电机的第二摩擦层;其中,所述栅介质层的材料包括电解质溶液、离子液体、离子凝胶、离子导电聚合物或质子导电聚合物中的一种或多种; 其中,所述第一摩擦层的第二支部与所述第二摩擦层接触分离,产生摩擦电; 所述突触晶体管还包括有源区、源极和漏极,所述源极和所述漏极位于所述有源区上,且所述源极和所述漏极间隔设置; 其中,所述有源区的材料包括In2O3、IZO、IGO、IGZO中的任意一种,所述有源区的厚度为20~30nm;所述源极和所述漏极的材料相同,包括铝、ITO、Au、Cr-Au、Ti-Au中的任意一种,所述源极和所述漏极的厚度相同,为35~50nm,所述源极与所述漏极之间沟道长度为60~200μm,宽度为800~6000μm。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人西安电子科技大学,其通讯地址为:710071 陕西省西安市太白南路2号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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