西安迈驰半导体科技有限公司张关保获国家专利权
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龙图腾网获悉西安迈驰半导体科技有限公司申请的专利一种低容高ESD防护能力保护器件及其制作方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119300468B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411380691.2,技术领域涉及:H10D89/60;该发明授权一种低容高ESD防护能力保护器件及其制作方法是由张关保;张彪;王康;贺健民设计研发完成,并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种低容高ESD防护能力保护器件及其制作方法在说明书摘要公布了:本发明涉及ESD保护器件及其制作方法,具体涉及一种低容高ESD防护能力保护器件及其制作方法,包括由下至上依次相接的P型衬底、N‑外延和介质层;P型衬底上表面中部设有顶部与N‑外延相接的N+埋层;N‑外延的上表面中部设有第一P+扩区,以及由内到外依次分布的第一N+扩区组、第二P+扩区组和第二N+扩区;第一N+扩区组包括多个圆周均布的第一N+扩区;第二P+扩区组包括多个圆周均布的第二P+扩区;N‑外延上开设有深入P型衬底的环形隔离槽;第二N+扩区上开设有深入P型衬底的环形电连接层;介质层上设有阳极和阴极,阳极底部与第一P+扩区、第一N+扩区相接,阴极底部与第二N+扩区、第二P+扩区相接。本发明能够在实现超低容值的同时保障高静电防护能力。
本发明授权一种低容高ESD防护能力保护器件及其制作方法在权利要求书中公布了:1.一种低容高ESD防护能力保护器件,其特征在于:包括由下至上依次相接的P型衬底1、N-外延2和介质层3; 所述P型衬底1上表面中部设有顶部与N-外延2相接的N+埋层4; 所述N-外延2的上表面中部设有第一P+扩区5,以及由内到外依次分布的第一N+扩区组、第二P+扩区组和第二N+扩区8;第一N+扩区组包括多个圆周均布的第一N+扩区6;第二P+扩区组包括多个圆周均布的第二P+扩区7; 所述第二N+扩区8与P型衬底1和N+埋层4组成低触发NPN管;第一P+扩区5与N-外延、N+埋层4、P型衬底1组成低容值PNP管;第一N+扩区6、N-外延2与第二P+扩区7组成导向二极管; 所述N-外延2上开设有深入P型衬底1的环形隔离槽9,用于对低容值PNP管和低触发NPN管电性隔离; 所述第二N+扩区8上开设有深入P型衬底1的环形电连接层10; 所述介质层3上设有阳极11和阴极12,阳极11底部与第一P+扩区5、第一N+扩区6相接,阴极12底部与第二N+扩区8、第二P+扩区7相接。
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