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江西兆驰半导体有限公司舒俊获国家专利权

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龙图腾网获悉江西兆驰半导体有限公司申请的专利GaN基LED外延片及制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119342951B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411407033.8,技术领域涉及:H10H20/811;该发明授权GaN基LED外延片及制备方法是由舒俊;高虹;郑文杰;张彩霞;刘春杨;胡加辉;金从龙设计研发完成,并于2024-10-10向国家知识产权局提交的专利申请。

GaN基LED外延片及制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及LED外延片技术领域,公开了一种GaN基LED外延片及其制备方法,包括:衬底、缓冲层、N型半导体层、应力释放层、多量子阱发光层、电子阻挡层和P型半导体层;其中,所述N型半导体层依次包括:第一多孔低温GaN层、第二多孔AlGaNGaN超晶格层、第三高温GaN层、第四多孔AlGaNGaN超晶格层、第五高温GaN层。采用本发明,可减少外延材料在生长过程中缺陷的产生,降低材料的位错密度,显著改善外延片材料的质量,从而提高发光二极管有源区中的辐射复合效率,同时能够显著提高有源区中光子逸出体材料的占比。

本发明授权GaN基LED外延片及制备方法在权利要求书中公布了:1.一种GaN基LED外延片,其特征在于,包括:衬底、缓冲层、N型半导体层、应力释放层、多量子阱发光层、电子阻挡层和P型半导体层; 其中,所述N型半导体层依次包括:第一多孔低温GaN层、第二多孔AlGaNGaN超晶格层、第三高温GaN层、第四多孔AlGaNGaN超晶格层、第五高温GaN层;其中, 所述第一多孔低温GaN层设有贯穿所述第一多孔低温GaN层的第一V型孔洞; 所述第二多孔AlGaNGaN超晶格层设有第二V型孔洞和第三V型孔洞,所述第二V型孔洞为在所述第一V型孔洞的基础上生长得到,所述第二V型孔洞的开口尺寸大于所述第三V型孔洞的开口尺寸; 所述第三高温GaN层完全填充所述第三V型孔洞,并设有第四V型孔洞,所述第四V型孔洞为在所述第二V型孔洞的基础上生长得到; 所述第四多孔AlGaNGaN超晶格层沉积于第三高温GaN层之上,形成第五V型孔洞和应力释放孔,所述第五V型孔洞为在所述第四V型孔洞的基础上生长得到; 所述第五高温GaN层完全填充所述第五V型孔洞和应力释放孔; 所述第二多孔AlGaNGaN超晶格层包括依次层叠的第二多孔AlGaN层和第二多孔GaN层,交替层叠周期数为2~20; 所述第二多孔AlGaN层为低掺杂有Si元素,Si掺杂浓度为5.2×1017cm3~1.6×1019cm3,Al组分0.2≤X2≤0.8,厚度为1.2nm~20nm,生长温度为900℃~1150℃,压力为30torr~320torr; 所述第二多孔GaN层为高掺杂有Si元素,Si掺杂浓度为2.5×1018cm3~3.2×1019cm3,厚度为1.2nm~20nm,生长温度为900℃~1150℃,压力为30torr~320torr; 所述第四多孔AlGaNGaN超晶格层包括依次层叠的第四多孔AlGaN层和第四多孔GaN层,交替层叠周期数为3~50; 所述第四多孔AlGaN层为低掺杂有Si元素,Si掺杂浓度为8.5×1017cm3~1.9×1019cm3,Al组分0.02≤X4≤0.5,厚度为2nm~30nm,生长温度为920℃~1180℃,压力为30torr~320torr; 所述第四多孔GaN层为高掺杂有Si元素,Si掺杂浓度为3.0×1018cm3~3.8×1019cm3,厚度为2nm~30nm,生长温度为920℃~1180℃,压力为30torr~320torr; Al组分第二多孔AlGaNGaN超晶格层大于第四多孔AlGaNGaN超晶格层,即X2>X4。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江西兆驰半导体有限公司,其通讯地址为:330000 江西省南昌市南昌高新技术产业开发区天祥北大道1717号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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