北京日扬弘创智能装备有限公司葛成重获国家专利权
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龙图腾网获悉北京日扬弘创智能装备有限公司申请的专利晶圆夹持手臂及用于晶圆夹持手臂控制的系统、方法和装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119361497B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411929319.2，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权晶圆夹持手臂及用于晶圆夹持手臂控制的系统、方法和装置是由葛成重;关仁杰;耿喜平;郭启升;王宏声设计研发完成，并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆夹持手臂及用于晶圆夹持手臂控制的系统、方法和装置在说明书摘要公布了：本发明公开了晶圆夹持手臂及用于晶圆夹持手臂控制的系统、方法和装置，其中，该晶圆夹持手臂包括：夹持手臂、传感器及周边支架、传动结构，其中，传感器及周边支架，与夹持手臂连接，包括：抱夹对射传感器的接收端的接收传感器支架，抱夹对射传感器的发射端的发射传感器支架，且，接收传感器支架和发射传感器支架的底部分别为大疏水夹角结构；传动结构，被配置为通过控制指令，带动夹持手臂，将待加工晶圆从半导体湿法制程环境中提拉出来，其中，控制指令是根据对射传感器确定夹持手臂夹持待加工晶圆的情况下得到的。这样，晶圆夹持手臂可夹持晶圆从湿法研磨环境提出时，可分流凝聚水滴路径，使得水滴可快速分离滴落，提高了传感器检测可靠性。
本发明授权晶圆夹持手臂及用于晶圆夹持手臂控制的系统、方法和装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆夹持手臂，其特征在于，包括：夹持手臂、传感器及周边支架、传动结构，其中， 传感器及周边支架，与夹持手臂连接，包括：抱夹对射传感器15的接收端的接收传感器支架3，抱夹对射传感器15的发射端的发射传感器支架5，且，接收传感器支架3和发射传感器支架5的底部分别为大疏水夹角结构； 传动结构，被配置为通过控制指令，带动夹持手臂，将待加工晶圆从半导体湿法制程环境中提拉出来，其中，控制指令是根据对射传感器15确定夹持手臂夹持待加工晶圆的情况下得到的； 还包括：接收传感器盖板4、发送传感器盖板6；其中， 接收传感器盖板4与接收传感器支架3组成分流避让结构； 发射传感器盖板6与发射传感器支架5组成分流避让结构； 其中，接收传感器支架3和发射传感器支架5的表面包括：下降楔形斜面，分流避让结构的面与面之间曲面相接。
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