广东工业大学王瑞洲获国家专利权
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龙图腾网获悉广东工业大学申请的专利基于仿生柔顺机构的转移系统及飞行刺晶柔顺控制方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119451317B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411366958.2,技术领域涉及:H10H20/01;该发明授权基于仿生柔顺机构的转移系统及飞行刺晶柔顺控制方法是由王瑞洲;杨龙设计研发完成,并于2024-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于仿生柔顺机构的转移系统及飞行刺晶柔顺控制方法在说明书摘要公布了:本发明涉及芯片转移的技术领域,具体涉及一种基于仿生柔顺机构的转移系统及飞行刺晶柔顺控制方法,转移系统包括底座、二维移动装置、第一X向移动装置、第一Y向移动装置,二维移动装置用于安装MiniLED晶圆,第一X向移动装置设有承载结构,第一Y向移动装置设有二维柔顺飞行刺晶装置;柔顺控制方法包括:当MiniLED晶圆转移至承载结构时:采取开环前馈控制以及接触力半闭环伺服柔顺控制来对仿生柔顺机构的Z向运动进行控制;采取双闭环高带宽控制来对仿生柔顺机构的Y向运动进行控制。本发明能够消除迟滞效应用以应对MiniLED芯片巨量转移带来的定位误差问题,提高飞行刺晶的转移精度和作业效率。
本发明授权基于仿生柔顺机构的转移系统及飞行刺晶柔顺控制方法在权利要求书中公布了:1.一种基于仿生柔顺机构的转移系统,其特征在于,包括底座100和安装于所述底座100上的二维移动装置200、第一X向移动装置300、第一Y向移动装置400,所述二维移动装置200的移动端用于安装MiniLED晶圆500,所述第一X向移动装置300的移动端设有承载结构600,所述第一Y向移动装置400的移动端设有二维柔顺飞行刺晶装置700;其中,所述二维柔顺飞行刺晶装置700包括仿生柔顺机构710、与所述仿生柔顺机构710相连接的刺晶机构720、与所述仿生柔顺机构710驱动连接的飞行驱动机构730,所述仿生柔顺机构710具有Y向和Z向的运动自由度,所述仿生柔顺机构710上设有飞行位移传感件740,所述刺晶机构720上设有力传感件750;还包括与所述二维移动装置200、第一X向移动装置300、第一Y向移动装置400、刺晶机构720、飞行驱动机构730、飞行位移传感件740、力传感件750均通信连接的控制装置; 所述二维移动装置200包括第二Y向移动装置210、第二X向移动装置,所述第二Y向移动装置210通过所述第二X向移动装置与所述底座100相连接;其中,所述第二Y向移动装置210的移动端用于安装所述MiniLED晶圆500;所述第二X向移动装置包括位于所述第一X向移动装置300两侧的第一安装座220,所述第一安装座220与所述底座100相连接,所述第一安装座220上装设有第二X向直线电机230、第二X向位移传感件240,所述第二X向直线电机230的驱动端与所述第二Y向移动装置210的固定端相连接,所述第二X向直线电机230、第二X向位移传感件240、第二Y向移动装置210均与所述控制装置通信连接; 所述控制装置包括上位机810、与所述上位机810通信连接的工控机820,还包括与所述工控机820通信连接的数模转化电路板830和模数转化电路板840;所述二维移动装置200、第一X向移动装置300、第一Y向移动装置400均与所述工控机820通信连接,所述飞行驱动机构730与所述数模转化电路板830通信连接,所述飞行位移传感件740、力传感件750均与所述模数转化电路板840通信连接。
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