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龙图腾网获悉西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司申请的专利一种堵孔装置、堵孔方法及晶圆加工设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119517810B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411700609.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种堵孔装置、堵孔方法及晶圆加工设备是由叶森;冯智;郭盾设计研发完成，并于2024-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种堵孔装置、堵孔方法及晶圆加工设备在说明书摘要公布了：本公开提供了一种堵孔装置、堵孔方法及晶圆加工设备，堵孔装置包括：图像采集单元，用于采集被加工件上带有堵孔的局部区域的图像信息；控制单元，用于基于图像信息获取堵孔的坐标位置信息；执行单元，包括执行末端，执行末端设有堵头安装部件和若干测距感应器；控制单元还用于基于堵孔的坐标位置信息，控制执行单元移动至第一目标位置或第二目标位置；执行单元处于第一目标位置时，执行将堵头塞堵至堵孔中的操作；处于第二目标位置时，通过测距感应器测量距离；控制单元还用于基于若干测距感应器测量的距离，判定堵孔作业是否合格。本公开的堵孔装置、堵孔方法及晶圆加工设备可以提高堵孔作业判定准确性。

本发明授权一种堵孔装置、堵孔方法及晶圆加工设备在权利要求书中公布了：1.一种堵孔装置，其特征在于，包括： 图像采集单元，用于采集被加工件上带有堵孔的局部区域的图像信息； 控制单元，用于基于所述图像信息，获取堵孔的坐标位置信息；及 执行单元，所述执行单元包括执行末端，所述执行末端设有用于抓取堵头的堵头安装部件；所述执行末端上还设有检测单元，所述检测单元包括若干测距感应器，所述测距感应器用于测量沿第一方向上所述测距感应器自身到所述被加工件的距离； 所述控制单元还用于基于所述堵孔的坐标位置信息，控制所述执行单元移动至第一目标位置或第二目标位置；且所述执行单元用于当处于所述第一目标位置时，执行将所述堵头塞堵至所述堵孔中的操作；当处于所述第二目标位置时，执行通过所述测距感应器测量距离的操作；所述控制单元还用于基于若干所述测距感应器所测量的距离，判定所述堵孔位置处的堵孔作业是否合格； 所述执行末端上设有基座，所述检测单元和所述堵头安装部件沿第二方向间隔开地设置在所述基座上，且所述基座被构造为沿所述第一方向可伸缩，其中所述第二方向垂直于所述第一方向；所述检测单元还包括测距器安装部件，所述测距器安装部件被构造为与所述堵孔的形状、尺寸相匹配的圆形或环形，若干所述测距感应器沿着所述测距器安装部件的周向均匀分布； 所述测距器安装部件可拆卸地安装在所述基座上；和或，所述测距器安装部件被构造为直径大小可调。

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