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龙图腾网获悉深圳市新凯来工业机器有限公司申请的专利工艺腔室及工艺处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119571257B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510135762.0，技术领域涉及：C23C14/22；该发明授权工艺腔室及工艺处理设备是由廖伟至;李伟;王剑伟;孙思强;齐涵宇;杨梦园设计研发完成，并于2025-02-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本工艺腔室及工艺处理设备在说明书摘要公布了：本申请涉及工艺处理技术领域，特别涉及一种工艺腔室及工艺处理设备。该工艺腔室包括腔体和载盘，腔体具有沿第一方向分布的反应腔和支撑腔，载盘可转动地设置于腔体内，载盘的转动中心平行于第一方向。腔体设置有基板装载通道、气体导入通道以及气体导出通道。基板装载通道与支撑腔连通，气体导入通道和气体导出通道与反应腔连通，且气体导入通道和气体导出通道沿第二方向相对设置,基板装载通道通入第一工艺气体的方向与气体导入通道通入第二工艺气体的流动方向相同。基板装载通道、气体导入通道、气体导出通道分别关于基准面呈对称分布。基准面平行于第一方向和第二方向，载盘的转动中心位于基准面上。该工艺腔室具有更均匀的工艺气体流场。

本发明授权工艺腔室及工艺处理设备在权利要求书中公布了：1.一种工艺腔室10，其特征在于，包括：腔体1和载盘2； 所述腔体1具有沿第一方向分布的反应腔和支撑腔；所述载盘2可转动地设置于所述腔体1内，所述载盘2与所述腔体1的内壁之间的第一间隙用于导通所述反应腔和所述支撑腔；所述载盘2的转动中心平行于所述第一方向； 所述腔体1设置有基板装载通道11、气体导入通道12以及气体导出通道13；所述基板装载通道11与所述支撑腔连通，所述基板装载通道11用于供基板通过以及用于向所述支撑腔通入第一工艺气体； 所述气体导入通道12和所述气体导出通道13分别与所述反应腔连通，且所述气体导入通道12和所述气体导出通道13沿第二方向相对设置，所述第二方向垂直于所述第一方向； 所述气体导入通道12用于向所述反应腔通入第二工艺气体；沿所述第二工艺气体的流通方向，所述气体导入通道12包括依次连通的导入段121、预混段122和混合段123；所述导入段121包括多个沿第三方向分布的气体流道1211，所述第三方向垂直于基准面；所述预混段122设置有多个沿所述第三方向分布的隔板1221，多个所述隔板1221将所述预混段122分隔形成多个预混通道1222，每个所述预混通道1222连通一个或多个所述气体流道1211；所述混合段123连通于所述反应腔与所述预混段122之间，所述混合段123连通所有的所述预混通道1222； 所述气体导出通道13用于导出所述反应腔内的气体； 所述基板装载通道11、所述气体导入通道12、所述气体导出通道13分别关于基准面呈对称分布；所述基准面平行于所述第一方向和第二方向，且所述载盘2的转动中心位于所述基准面上； 所述第一工艺气体自所述基板装载通道11进入所述支撑腔的气流方向与所述第二工艺气体自所述气体导入通道12进入所述反应腔的气流方向相同。

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