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龙图腾网获悉北京烁科中科信电子装备有限公司申请的专利一种高能离子注入机光路对中装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119581300B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411461746.2，技术领域涉及：H01J37/147；该发明授权一种高能离子注入机光路对中装置是由高静;范亚姣;许浩欣;王朋飞;李丽卷;李进;李龙;张伟东;李中华设计研发完成，并于2024-10-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种高能离子注入机光路对中装置在说明书摘要公布了：本发明公开一种高能离子注入机光路对中装置，包括平透模组、能透模组、射频模组、分析器、能透激光安装板、平透激光安装板和三电极对中工装；平透模组、能透模组、射频模组和分析器均安装在地板丝印上；能透激光安装板安装在能透模组的磁轭上，平透激光安装板安装在平透模组的磁轭上，用于放置激光仪；当进行光路对中时，激光仪先放到平透激光安装板上，通过调整平透模组和能透模组的地脚位置，使激光从平透出口穿出后，再从能透入口和能透侧部穿出；再将激光仪移至能透激光安装板，分别调整射频模组和分析器的地脚位置，使激光依次从能透入口、射频出口、射频入口、分析器出口和分析器入口穿出。本发明具有结构紧凑、操作便捷、稳定性高等特点。

本发明授权一种高能离子注入机光路对中装置在权利要求书中公布了：1.一种高能离子注入机光路对中装置，其特征在于，包括：平透模组1、能透模组2、射频模组3、分析器4、能透激光安装板7、平透激光安装板8和三电极对中工装9；所述平透模组1、能透模组2、射频模组3和分析器4依次安装在地板丝印上，以便于进行位置调整；所述能透激光安装板7安装在能透模组2的磁轭上，以用于放置激光仪100；所述平透激光安装板8安装在平透模组1的磁轭上，以用于放置激光仪100；所述三电极对中工装9安装在与分析器4连接的源腔体200上，以用于实现离子源到三电极的光路对中；当进行光路对中时，激光仪100先放到平透激光安装板8上，通过调整平透模组1的地脚位置，使激光从平透出口穿出，调整能透模组2的地脚位置，使激光从能透入口和能透侧部穿出，以完成平透模组1和能透模组2光路对中；再将激光仪100移至能透激光安装板7，分别调整射频模组3和分析器4的地脚位置，使激光依次从能透入口、射频出口、射频入口、分析器出口和分析器入口穿出，以完成能透模组2、射频模组3和分析器4光路对中。

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