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广州三义激光科技有限公司陈聪获国家专利权

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龙图腾网获悉广州三义激光科技有限公司申请的专利一种双向激光碳化硅晶锭加工装置及加工方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119589153B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411841645.8,技术领域涉及:B23K26/38;该发明授权一种双向激光碳化硅晶锭加工装置及加工方法是由陈聪;李贵林;廖世明;陈立波;董青林设计研发完成,并于2024-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。

一种双向激光碳化硅晶锭加工装置及加工方法在说明书摘要公布了:一种双向激光碳化硅晶锭加工装置及加工方法,包括第一激光组件、第二激光组件和转台,第一激光组件中,第一激光器发出的激光依次经第一反射镜和第一激光聚焦镜后,竖直向下到达转台上,第二激光组件中,第二激光器发出的激光依次经第二反射镜、第三反射镜、第二激光聚焦镜、第四反射镜后,竖直向上到达转台上;转台包括C轴模组、B轴模组和加工座,C轴模组用于驱动待加工晶锭进行回转运动,B轴模组用于驱动晶锭在竖直平面内摆动;还配置有相应的直线移动模组。本发明可有效提高激光加工的效率,加工出圆柱形晶锭,最大限度地利用原料,降低成本,且结构简单,易于控制,适合于厚度大、硬度高、造价高、精密度高的碳化硅晶锭的切割。

本发明授权一种双向激光碳化硅晶锭加工装置及加工方法在权利要求书中公布了:1.一种双向激光碳化硅晶锭加工装置,其特征在于,包括第一激光组件、第二激光组件和转台;所述转台用于承载和转动待加工晶锭;所述第一激光组件包括第一激光器、第一反射镜和第一激光聚焦镜,第一激光器发出的激光依次经所述第一反射镜的反射和所述第一激光聚焦镜的聚焦后,竖直向下对转台上的待加工晶锭由上至下进行加工;所述第二激光组件包括第二激光器、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜和第二激光聚焦镜,第二激光器发出的激光依次经所述第二反射镜和第三反射镜的反射、第二激光聚焦镜的聚焦、第四反射镜的反射后,竖直向上对转台上的待加工晶锭由下至上进行加工; 所述转台包括C轴模组、B轴模组和加工座,所述C轴模组设置在所述B轴模组上,所述加工座安装在所述C轴模组上,待加工晶锭固定在所述加工座上,所述C轴模组用于驱动待加工晶锭绕其垂直中心轴进行回转运动,所述B轴模组用于驱动待加工晶锭在竖直平面内摆动,使待加工晶锭的垂直中心轴相对于竖直方向倾斜,以消除锥形激光束对晶锭侧面的切割影响,从而加工出侧面与底面完全垂直的圆柱形晶锭; 所述转台还包括第一Y轴移动模组,所述B轴模组安装在所述第一Y轴移动模组上; 还包括定位组件,所述定位组件包括支撑柱、第三Z轴移动模组和环形定位灯,所述第三Z轴移动模组安装在所述支撑柱上,若干同圆心的所述环形定位灯安装在所述第三Z轴移动模组上,定位区设置于所述第一Y轴移动模组的移动路径上,并位于所述环形定位灯的正下方,所述加工座的顶部设置有圆形真空吸盘,用于通过真空吸附的方式固定待加工晶锭,环形定位灯在定位区上投射分别用于真空吸盘和待加工晶锭定位的定位环,第三Z轴移动模组带动环形定位灯沿着支撑柱上下移动,以投射同圆心但直径不同的定位环,以适应不同直径的晶锭加工;所述加工座在所述第一Y轴移动模组的驱动下将真空吸盘和待加工晶锭的中心分别定位至对应的所述定位环的圆心; 所述B轴模组用于驱动待加工晶锭在竖直平面内摆动,使待加工晶锭的垂直中心轴相对于竖直方向偏转一个角度α,α=θ2,其中θ为锥形激光束的圆锥角,,D为入射到第一激光聚焦镜的光束直径,WD为第一激光聚焦镜与其激光焦点之间的距离。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人广州三义激光科技有限公司,其通讯地址为:510000 广东省广州市广州高新技术产业开发区科学城彩频路7号101;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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