北京大学黄鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉北京大学申请的专利一种铪基铁电电容疲劳效应恢复方法、设备、介质及产品获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119649870B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411729902.9,技术领域涉及:G11C11/22;该发明授权一种铪基铁电电容疲劳效应恢复方法、设备、介质及产品是由黄鹏;唐卓华;杨万旺;宋旭锦;康晋锋设计研发完成,并于2024-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种铪基铁电电容疲劳效应恢复方法、设备、介质及产品在说明书摘要公布了:本申请公开了一种铪基铁电电容疲劳效应恢复方法、设备、介质及产品,涉及半导体器件及集成电路技术领域,该方法包括:确定混合式恢复脉冲序列;获取目标铪基铁电存储器的初态极化强度;在对目标铪基铁电存储器进行读写操作后,获取目标铪基铁电存储器的实时剩余极化强度为第一剩余极化强度;根据第一剩余极化强度和初态极化强度,确定目标铪基铁电存储器是否处于疲劳状态;在目标铪基铁电存储器处于疲劳状态时,向目标铪基铁电存储器施加编程后的混合式恢复脉冲序列;本申请利用混合式恢复脉冲序列恢复铪基铁电电容疲劳效应方案,能够提高极化强度恢复效果和铪基铁电存储器的耐久性。
本发明授权一种铪基铁电电容疲劳效应恢复方法、设备、介质及产品在权利要求书中公布了:1.一种铪基铁电电容疲劳效应恢复方法,其特征在于,包括: 确定混合式恢复脉冲序列; 获取目标铪基铁电存储器的初态极化强度; 在对目标铪基铁电存储器进行读写操作后,获取目标铪基铁电存储器的实时剩余极化强度为第一剩余极化强度; 根据所述第一剩余极化强度和所述初态极化强度,确定所述目标铪基铁电存储器是否处于疲劳状态; 在所述目标铪基铁电存储器处于疲劳状态时,向所述目标铪基铁电存储器施加编程后的混合式恢复脉冲序列; 所述确定混合式恢复脉冲序列,包括: 在多个疲劳样本上分别施加不同翻转比例的脉冲信号,直至对应疲劳样本被击穿,分别统计每个疲劳样本实时极化强度等于初态极化强度时施加的脉冲总数为第一恢复脉冲总数N1;并分别统计每个疲劳样本被击穿时施加的脉冲总数为第一恢复耐久脉冲总数T1;不同翻转比例的脉冲信号中单个周期内的脉冲总数不同; 确定第一恢复耐久脉冲总数T1与第一恢复脉冲总数N1的比值为第一恢复操作总数R1; 确定最大第一恢复操作总数R1对应的翻转比例为目标翻转比例; 根据目标翻转比例,利用翻转比例公式确定目标单周期脉冲数量m; 基于目标单周期脉冲数量m,在多个疲劳样本上分别施加不同对称性的脉冲信号,直至对应疲劳样本被击穿,分别统计每个疲劳样本实时极化强度等于初态极化强度时施加的脉冲总数为第二恢复脉冲总数N2;分别统计每个疲劳样本被击穿时施加的脉冲总数为第二恢复耐久脉冲总数T2;不同对称性的脉冲信号中单个周期内的脉冲总数均为目标单周期脉冲数量m,不同对称性的脉冲信号一个周期内正向脉冲段包含的正向脉冲数不同; 定义第二恢复耐久脉冲总数T2与第二恢复脉冲总数N2的比值为第二恢复操作总数R2; 确定最大第二恢复操作总数R2对应的对称性为目标对称性; 根据目标对称性,利用对称性公式确定目标正向脉冲段脉冲数量k; 根据目标单周期脉冲数量m和目标正向脉冲段脉冲数量k,向疲劳样本施加多个周期脉冲信号直至疲劳样本的实时剩余极化强度等于疲劳样本初态极化强度,获取施加的周期数为目标周期数; 确定目标周期数与目标单周期脉冲数量m之积为目标混合式恢复脉冲序列脉冲数量N; 基于所述目标单周期脉冲数量m、目标正向脉冲段脉冲数量k和目标混合式恢复脉冲序列脉冲数量N,确定混合式恢复脉冲序列; 所述翻转比例公式为:; 所述对称性公式为:。
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