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江西兆驰半导体有限公司茹浩获国家专利权

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龙图腾网获悉江西兆驰半导体有限公司申请的专利倒装LED芯片及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119653934B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411762784.1,技术领域涉及:H10H20/01;该发明授权倒装LED芯片及其制备方法是由茹浩;鲁洋;吴晓霞;胡加辉;金从龙设计研发完成,并于2024-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。

倒装LED芯片及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及光电子制造技术领域,具体公开了一种倒装LED芯片及其制备方法。制备方法包括:提供外延片;形成透明导电层;刻蚀形成刻蚀坑;形成第一钝化保护层;形成第一光刻胶层;刻蚀形成暴露透明导电层的凹槽,并形成蒸镀孔;蒸镀孔顶部的宽度小于凹槽的宽度;在蒸镀孔内依次蒸镀反射层和连接层,蒸镀时,金属束流与外延片具有第一角度;在蒸镀孔内蒸镀保护层,蒸镀时,金属束流与外延片具有第二角度,第二角度小于第一角度;去除第四光刻胶层;形成第二钝化保护层,刻蚀开孔;形成第一电极和第二电极。实施本发明,可通过第一钝化层与保护层的复合形成对反射层地良好包裹,大幅降低反射层的金属迁移,提升可靠性。

本发明授权倒装LED芯片及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种倒装LED芯片的制备方法,其特征在于,包括以下步骤: 1提供外延片;其中,所述外延片包括衬底和依次层叠于所述衬底上的第一半导体层、有源层和第二半导体层; 2在所述外延片上形成透明导电层; 3刻蚀形成贯穿至所述第一半导体层的刻蚀坑; 4在步骤3得到的外延片上形成第一钝化保护层; 5在所述第一钝化保护层上形成第一光刻胶层,并曝光显影去除所述透明导电层上方的光刻胶层,得到刻蚀孔; 6将所述刻蚀孔内的第一钝化保护层去除,得到暴露所述透明导电层的凹槽,且使所述第一光刻胶层转化为第二光刻胶层,所述第二光刻胶层上设有暴露所述凹槽的蒸镀孔;所述蒸镀孔顶部的宽度小于所述凹槽的宽度; 7在所述蒸镀孔内依次蒸镀反射层和连接层,并使所述第二光刻胶层转化为第三光刻胶层;其中,蒸镀时,金属束流与外延片具有第一角度; 8在所述蒸镀孔内蒸镀保护层,并使所述第三光刻胶层转化为第四光刻胶层;其中,蒸镀时,金属束流与外延片具有第二角度,所述第二角度小于所述第一角度; 9去除第四光刻胶层;其中,所述第四光刻胶层的厚度<所述第三光刻胶层的厚度<所述第二光刻胶层的厚度<所述第一光刻胶层的厚度; 10在步骤9得到的外延片上形成第二钝化保护层,并分别形成刻蚀至第一半导体层的第一开孔和刻蚀至步骤8中的保护层的第二开孔; 11形成第一电极和第二电极,其中,第一电极通过第一开孔与所述第一半导体层电连接,所述第二电极通过所述第二开孔与步骤8中的保护层电连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江西兆驰半导体有限公司,其通讯地址为:330000 江西省南昌市南昌高新技术产业开发区天祥北大道1717号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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