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龙图腾网获悉南昌大学申请的专利一种外加能场协同化学机械平坦化设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119772747B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411844254.1，技术领域涉及：B24B29/00；该发明授权一种外加能场协同化学机械平坦化设备是由许文虎;衷会清;钟敏;易美荣;陈建锋;李小兵设计研发完成，并于2024-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种外加能场协同化学机械平坦化设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种外加能场协同化学机械平坦化设备，涉及抛光技术领域，包括丝杆机架，丝杆机架上垂直设有伺服丝杆装置，伺服丝杆装置与丝杆机架呈十字连接结构，伺服丝杆装置上设有抛光头装置，伺服丝杆装置可带动抛光头装置沿水平、竖直方向移动，抛光头装置上设有待加工工件，抛光头装置下方设有抛光盘机架，抛光盘机架上设有抛光盘装置，抛光盘装置设于抛光头装置下方；还包括电化学装置、蠕动泵、超声波发生器、控制箱，本发明可以提供超声振动、电流电压、抛光头与抛光盘转动、抛光头自动加载、抛光压力与摩擦力的采集、抛光液供给、废液收集、抛光头自动调节功能，并能够自行设置抛光工艺参数，设备自动运行。

本发明授权一种外加能场协同化学机械平坦化设备在权利要求书中公布了：1.一种外加能场协同化学机械平坦化设备，其特征在于：包括丝杆机架8，所述丝杆机架8上垂直设有伺服丝杆装置1，所述伺服丝杆装置1与所述丝杆机架8呈十字连接结构，所述伺服丝杆装置1上设有抛光头装置2，所述伺服丝杆装置1可带动所述抛光头装置2沿水平、竖直方向移动，所述抛光头装置2上设有待加工工件，所述抛光头装置2下方设有抛光盘机架7，所述抛光盘机架7上设有抛光盘装置3，所述抛光盘装置3设于所述抛光头装置2下方； 还包括电化学装置4、蠕动泵6、超声波发生器5、控制箱9，所述电化学装置4可给待加工工件施加电场，所述蠕动泵6可向所述抛光盘装置3输送抛光液，所述超声波发生器5可带动待加工工件振动，所述控制箱9与所述伺服丝杆装置1、所述抛光头装置2、所述抛光盘装置3、所述超声波发生器5均电连接； 所述抛光头装置2包括传感器连接板201、小带轮202、抛光头伺服电机203、平衡元件204、内六角螺栓205、弹簧206、超声换能器207、振子夹持器208、转轴209、轴承座210、轴承端盖211、三维压力传感器212、皮带213、大带轮214、导电滑环215、导电滑环座216； 所述传感器连接板201固设于所述伺服丝杆装置1的水平丝杆组件110上，所述抛光头伺服电机203固定在所述传感器连接板201右下方，所述小带轮202固定在所述抛光头伺服电机203的输出端上，所述导电滑环座216固定在所述传感器连接板201上，所述导电滑环215位于所述导电滑环座216下方，所述三维压力传感器212位于所述传感器连接板201左下方，所述轴承端盖211固定在所述三维压力传感器212下方，所述轴承座210固定在所述轴承端盖211下方，所述转轴209贯穿所述轴承端盖211、所述轴承座210以及所述传感器连接板201，所述大带轮214固定在所述转轴209顶部，所述皮带213位于所述小带轮202与所述大带轮214凹槽内，所述平衡元件204固定于所述转轴209下方，所述振子夹持器208位于所述平衡元件204下方，多个所述内六角螺栓205贯穿所述平衡元件204并固定在所述振子夹持器208上方，所述内六角螺栓205上套设有所述弹簧206，所述弹簧206两端分别与所述振子夹持器208、所述平衡元件204下方连接，所述超声换能器207固定在所述振子夹持器208下方，并与所述导电滑环215电连接，所述超声换能器207下方设有夹持组件，所述夹持组件夹持有待加工工件； 所述夹持组件包括弹簧顶针压板218、夹具一号219、夹具二号220、弹簧顶针221，所述夹具二号220固定于超声换能器207下方，所述夹具一号219固定在所述夹具二号220一侧并位于所述超声换能器207下方，所述弹簧顶针221安装在夹具二号220的孔洞中，所述弹簧顶针压板218固定在所述夹具二号220上方。

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