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同济大学乔非获国家专利权

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龙图腾网获悉同济大学申请的专利一种考虑机会主义维护的半导体生产调度方法和介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119809261B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411978847.7,技术领域涉及:G06Q10/0631;该发明授权一种考虑机会主义维护的半导体生产调度方法和介质是由乔非;洪牡丹;刘鹃;王冬源;马玉敏;王俊凯设计研发完成,并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

一种考虑机会主义维护的半导体生产调度方法和介质在说明书摘要公布了:本发明涉及一种考虑机会主义维护的半导体生产调度方法和介质,包括以下步骤:获取半导体生产车间的生产状态,建立机会主义维护与调度协同优化模型,所述半导体生产车间包括多个设备组,每个设备组包含多台设备;建立设备状态模型,对设备故障进行建模表示;根据所述机会主义维护与调度协同优化模型和所述设备状态模型,将每个设备组建模为一个智能体,并设计基于组合调度规则的动作空间和结构化奖励函数;利用QMIX算法在CTDE框架下训练各智能体,协调利用分配给每个设备组的独立策略,以实时车间状态进行输出同步,从而优化生产和维护调度。与现有技术相比,本发明可以在提高生产效率的同时降低维护成本,提高半导体制造系统的整体性能。

本发明授权一种考虑机会主义维护的半导体生产调度方法和介质在权利要求书中公布了:1.一种考虑机会主义维护的半导体生产调度方法,其特征在于,包括以下步骤: 获取半导体生产车间的生产状态,建立机会主义维护与调度协同优化模型,所述半导体生产车间包括多个设备组,每个设备组包含多台设备; 建立设备状态模型,对设备故障进行建模表示; 根据所述机会主义维护与调度协同优化模型和所述设备状态模型,将每个设备组建模为一个智能体,并设计基于组合调度规则的动作空间和结构化奖励函数; 利用QMIX算法在CTDE框架下训练各智能体,协调利用分配给每个设备组的独立策略,以实时车间状态进行输出同步,从而优化生产和维护调度; 所述机会主义维护与调度协同优化模型的目标为最小化维护活动总成本,所述维护活动总成本包括机会成本和维护本身的实际成本,根据设备前缓冲区中等待处理的作业数量以及距离预期故障发生的时间,将设备不进行维护而本可处理的作业数量定义为所述机会成本; 所述维护活动包括预防性维护和纠正性维护,预防性维护平均时间与预期平均维修时间相同,预防性维护发生后,设备的预期平均故障时间为纠正性维护发生后的两倍; 所述设备状态模型的建立过程具体如下: 定义关键设备状态变量,包括剩余寿命时间和预防性维护平均时间,定义设备的剩余寿命时间估计值小于预防维护平均时间的两倍; 通过预期平均故障时间为参数的概率分布确定设备故障时间,模拟验证预测的故障时间是否早于当前模拟时间,若是,则安排设备在完成当前步骤后立即进行纠正性维护;若否,则做出预防性维护决策,且相应的维修时间由预期平均维修时间为参数的概率分布确定; 使用预防性维护平均时间作为输入参数从概率分布中采样得到预防性维护时间,当安排预防性维护时,设备保持停机状态直到维护任务完全完成;每台设备记录其最后一次维护操作,若上一次操作是预防性维护,则用于计算下一次故障时间的预期故障时间从具有较高预期平均故障时间输入的概率分布中抽取。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人同济大学,其通讯地址为:200092 上海市杨浦区四平路1239号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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