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龙图腾网获悉西北工业大学申请的专利一种热激励压阻检测自激振荡谐振式惯性传感器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119846259B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411981636.9，技术领域涉及：G01P15/08；该发明授权一种热激励压阻检测自激振荡谐振式惯性传感器是由张和民;程昱瑄;杨晨昊;李豪杰;腾格尔;常洪龙设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种热激励压阻检测自激振荡谐振式惯性传感器在说明书摘要公布了：本发明一种热激励压阻检测自激振荡谐振式惯性传感器，属于微机电系统领域；包括一体连接的惯性力敏感模块、频率调制模块、自激振荡模块，通过惯性力敏感模块感知加速度并将加速度转化为施加于频率调制模块上的轴向力；频率调制模块通过接收轴向力改变有效刚度，完成频率调制；自激振荡模块通过其自身闭合回路形成交变的热膨胀力，在交变热膨胀力的作用下完成频率调制模块的自激振荡。本发明通过将谐振器与DETF梁耦合解决了目前国内外尚未有横向振动模态加速度计的问题，同时避免了谐振器横向振动模态与加速度计质量运动方向一致，从而对加速度整体模态造成影响，降低灵敏度等问题。

本发明授权一种热激励压阻检测自激振荡谐振式惯性传感器在权利要求书中公布了：1.一种热激励压阻检测自激振荡谐振式惯性传感器，其特征在于：包括一体连接的惯性力敏感模块、频率调制模块、自激振荡模块，通过惯性力敏感模块感知加速度并将加速度转化为施加于频率调制模块上的轴向力；频率调制模块通过接收轴向力改变有效刚度，完成频率调制；自激振荡模块通过其自身闭合回路形成交变的热膨胀力，在交变热膨胀力的作用下完成频率调制模块的自激振荡； 所述惯性力敏感模块包括质量块及分别连接于其两侧的杠杆，质量块通过多个弹性梁与对应数量的锚点连接，用于感知加速度，两侧杠杆分别用于将加速度转化为施加于两侧频率调制模块上的轴向力； 所述频率调制模块包括DETF细长梁，DETF细长梁的轴向垂直于杠杆长度方向； 所述DETF细长梁的结构形式为单梁或并列双梁； 所述自激振荡模块包括DETF短粗梁和纳米梁，所述DETF短粗梁的一端连接于DETF细长梁的延伸方向，另一端与杠杆连接；所述纳米梁垂直设置于DETF短粗梁和DETF细长梁的连接处，整体构成热压阻纳机械谐振器； 所述热压阻纳机械谐振器为DETF双端驱动梁、DETF中间驱动梁或单驱动梁三种形式的任意一种； 所述DETF双端驱动梁包括两个并联设置的DETF细长梁，两个DETF细长梁的两端分别连接有DETF短粗梁，一端的DETF短粗梁外端与锚点固定，另一端的DETF短粗梁外端与杠杆连接，锚点侧的两个DETF短粗梁与两个DETF细长梁的连接处外侧均垂直连接有纳米梁； 所述DETF中间驱动梁包括两根并联设置的DETF细长梁，两个DETF细长梁的两端分别连接有DETF短粗梁，一端的DETF短粗梁外端与锚点固定，另一端的DETF短粗梁外端与杠杆连接，锚点侧的两个DETF短粗梁与两个DETF细长梁的连接处内侧通过垂直设置的纳米梁连接； 所述单驱动梁包括单个DETF细长梁，其一端与杠杆连接，另一端与DETF短粗梁连接，DETF短粗梁的外端与锚点连接，在DETF短粗梁和DETF细长梁的连接处垂直设置有纳米梁。

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