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龙图腾网获悉广东华矽半导体设备有限公司申请的专利一种基于视觉的晶圆预对准系统和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119890118B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411953270.4，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权一种基于视觉的晶圆预对准系统和方法是由胡晓增;梁经伦;郭龙龙;张文涛;陈金宇;刘雨成;罗南生设计研发完成，并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于视觉的晶圆预对准系统和方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种基于视觉的晶圆预对准系统和方法，其中，基于视觉的晶圆预对准方法包括：步骤S1：将晶圆的边缘在周向上划分成至少两部分；步骤S2：控制旋转机构驱动晶圆转动，以将晶圆的各边缘划分部分依次送入相机的拍照范围，让相机对晶圆的各边缘划分部分分别进行拍照，以获取晶圆的各边缘划分部分的图像；步骤S3：对各边缘划分部分的图像进行处理，以获取各边缘划分部分在相机坐标系内的数据；步骤S4：根据相机坐标系和世界坐标系的关系，将各边缘划分部分在相机坐标系内的数据转化成世界坐标系内的数据；步骤S5：根据各边缘划分部分在世界坐标系内的数据，获取晶圆的边缘数据。根据本发明的技术方案，可以实现对晶圆的预对准。

本发明授权一种基于视觉的晶圆预对准系统和方法在权利要求书中公布了：1.一种基于视觉的晶圆预对准方法，用于与基于视觉的晶圆预对准系统配合使用，所述基于视觉的晶圆预对准系统包括相机3和旋转机构1；所述旋转机构1用于驱动所述晶圆100转动，使所述晶圆100的边缘依次经过所述相机3的拍照范围；其特征在于，所述晶圆预对准方法包括： 步骤S1：将晶圆100的边缘在周向上划分成至少两部分； 步骤S2：控制旋转机构1驱动晶圆100转动，以将晶圆100的各边缘划分部分依次送入相机3的拍照范围，让相机3对晶圆100的各边缘划分部分分别进行拍照，以获取晶圆100的各边缘划分部分的图像； 步骤S3：对各边缘划分部分的图像进行处理，以获取各边缘划分部分在相机坐标系内的数据； 步骤S4：根据相机坐标系和世界坐标系的关系，将各边缘划分部分在相机坐标系内的数据转化成世界坐标系内的数据； 步骤S5：根据各边缘划分部分在世界坐标系内的数据，获取晶圆100的边缘数据；所述晶圆100的边缘数据包括晶圆100的圆边数据； 步骤S6：根据晶圆100的圆边数据，获取晶圆100的偏心信息；所述偏心信息包括偏心角度和偏心距两者中的至少一种； 步骤S7：根据所述偏心信息，判断晶圆100是否需要进行纠偏。

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