买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉艾华(无锡)半导体科技有限公司申请的专利一种光伏电池ALD工艺装卸片机及装卸片方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119993882B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411906597.6，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种光伏电池ALD工艺装卸片机及装卸片方法是由强恒存设计研发完成，并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光伏电池ALD工艺装卸片机及装卸片方法在说明书摘要公布了：本发明涉及光伏电池ALD镀膜领域，具体的说是指一种光伏电池ALD工艺装卸片机及装卸片方法，包括固定机架。核心的搬运机采用研磨斜齿条及滚珠直线导轨，方向因为跨距较大采用三面导轨固定方式，刚性更大;伺服电机驱动斜齿轮，使搬运机构实现X、Y方向平稳运动。对来料花篮和来料工艺舟采用视觉检测，避免了因为花篮和工艺舟来料存在缺片、错槽、叠片等原因而引起的批量碎片，工艺舟和花篮之间导片采用视觉引导，杜绝因碎片残留而导致的多次批量碎片，整机稼动率更高。本发明各机构模块布局合理，占地面积小、产能大、碎片率低;工装流转清晰、流畅，实现了硅片从工艺舟到花篮之间的互相导入导出功能，大大降低了生产成本。

本发明授权一种光伏电池ALD工艺装卸片机及装卸片方法在权利要求书中公布了：1.一种光伏电池ALD工艺装卸片机，包括固定机架14；其特征在于：所述固定机架14的内部分别设置有花篮AGV车对接传输机构1、七轴机器人搬运花篮机构2、不良花篮处理机构3、花篮导入导出机构4、硅片规整梳齿机构5、工艺舟导入导出机构6、硅片吸放转运机构7、工艺舟搬运机构8、花篮视觉检测机构9、工艺舟装卸片工位视觉检测机构10、花篮硅片顶片机构11和工艺舟硅片顶片机构12； 所述花篮AGV车对接传输机构1包括花篮接料轨道1-01、花篮缓存轨道1-02、机器人对接位轨道1-03、铝型材和导向零件，所述导向零件为工程塑料材质，所述工程塑料材质的导向零件固定在铝型材的上表面，所述铝型材的两端分别设置有主动带、主动带轮、驱动电机和从动带轮，所述从动带轮采用顶推式张紧结构，主动带轮和驱动电机由传动轴相连，所述驱动电机固定在铝型材的侧面，每条轨道内部设置有水平调节机构，所述水平调节机构的侧板与铝型材嵌入固定，所述主动带轮的内部设置有多组轨道传动带轮；每组所述轨道传动带轮之间紧密靠近，所述轨道传动带轮的顶部表面上设置有花篮；所述轨道传动带轮的内部设置有传输线，所述传输线的内部设置有多个传感器；所述花篮缓存轨道1-02和机器人对接位轨道1-03表面上设置有减速传感器； 所述不良花篮处理机构3包括花篮定位气缸模块3-01、磁吸原件3-02和导向单元3-03；所述不良花篮处理机构3由多个机加工件组合形成承载平台，所述承载平台固定在导向单元上，导向单元的两端设有位置到位感应传感器； 所述花篮导入导出机构4包括花篮载台丝杆传动模块4-01、花篮承载平台4-02，所述花篮承载平台4-02的外侧表面上设置有花篮定位防呆模块4-021，所述花篮导入导出机构4由多个机加工件组合形成承载平台； 所述承载平台固定在导向单元上，所述导向单元的滑动部分的一端配置有磁吸原件3-02，所述导向单元的两端设有位置到位感应传感器。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人艾华(无锡)半导体科技有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市锡山区锡北镇锡港路张泾东段209号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。