上海芯东来半导体科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉上海芯东来半导体科技有限公司申请的专利一种双频激光干涉仪长条镜的固定装置、设备和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120065453B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510550476.0，技术领域涉及：G02B7/182；该发明授权一种双频激光干涉仪长条镜的固定装置、设备和方法是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-04-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种双频激光干涉仪长条镜的固定装置、设备和方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种双频激光干涉仪长条镜固定装置、设备和方法，针对超精密运动平台设备中长条反射镜因两端固定导致的动态形变问题，设置刚性容器，利用空气膜刚度与气压差实现动态补偿：当滑台加速运动时，长条镜弯曲趋势使容器内气压升高，产生反向力抑制形变；静止或匀速时，气压降低，外界大气压提供支撑力。该方法无需中间机械固定点，避免过约束问题，兼具高精度与安装简便性，适用于半导体制造、精密检测等领域的超精密运平台。
本发明授权一种双频激光干涉仪长条镜的固定装置、设备和方法在权利要求书中公布了：1.一种双频激光干涉仪长条镜固定装置，其特征在于，包括： 长条镜，其两端由滑台支撑； 所述长条镜的材质为石英或蓝宝石，表面粗糙度Ra≤10nm； 至少一个刚性容器，固定于所述滑台上并位于所述长条镜中部悬空区域的一侧或两侧； 所述长条镜与所述刚性容器之间形成气压阻尼腔，所述气压阻尼腔的间距为5-10微米，所述气压阻尼腔的空气膜刚度为； 所述刚性容器表面分布连通微孔，内部孔隙相互贯通，可以存储部分空气； 所述固定装置的动态补偿机制，当所述长条镜中间部分存在弯曲趋势时，所述长条镜会给所述刚性容器与所述气压阻尼腔形成的压力容器加压或减压，所述压力容器内部的压力升大或减小给所述长条镜一个反力，抑制所述弯曲趋势，保证长条镜中间部分在滑台上的位置稳定。
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