湘潭大学王金斌获国家专利权
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龙图腾网获悉湘潭大学申请的专利一种一面欧姆一面肖特基的PN结型CZT探测器及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120302732B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510788803.6,技术领域涉及:H10F30/29;该发明授权一种一面欧姆一面肖特基的PN结型CZT探测器及其制备方法是由王金斌;谭泽文;戴伟;钟向丽;宋宏甲;伏钊设计研发完成,并于2025-06-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种一面欧姆一面肖特基的PN结型CZT探测器及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种一面欧姆一面肖特基的PN结型CZT探测器及其制备方法,涉及半导体技术领域,包括探测器主体、阴极和阳极;其中,所述探测器主体的上表面为所述阳极,所述阳极为AuIn复合电极;所述探测器主体的下表面为所述阴极,所述阴极为AuCr复合电极。本发明探测器一面采用肖特基接触,一面采用欧姆接触,阳极作为收集电极形成肖特基接触,形成向下弯曲的势垒,抵挡空穴注入,降低漏电流;阴极作为施压电极形成欧姆接触;该结构在阴极处加负电压,理想情况下,偏压通过欧姆结直接施加在p‑n结也就是肖特基接触处,随着势垒逐渐降低,电压逐步施加到体电阻从结处开始向下耗尽,直到完全耗尽。
本发明授权一种一面欧姆一面肖特基的PN结型CZT探测器及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种一面欧姆一面肖特基的PN结型CZT探测器,其特征在于,包括探测器主体、阴极和阳极;所述探测器主体材料为碲锌镉; 其中,所述探测器主体的上表面为所述阳极,所述阳极为AuIn复合电极; 所述探测器主体的下表面为所述阴极,所述阴极为AuCr复合电极; 所述阳极为正方形平面电极,边长为0.1-0.5mm;所述阳极由下至上依次为In层和第一Au接触层,所述In层的厚度为100-200nm,所述第一Au接触层的厚度为50-100nm; 所述阴极为正方形平面电极,边长为0.1-0.5mm;所述阴极由下至上依次为第二Au接触层和Cr层,所述Cr层的厚度为5-20nm,所述第二Au接触层的厚度为50-100nm; 所述AuIn复合电极将In扩散形成n+重掺杂层,与P型基体形成p-n结,形成肖特基接触,所述AuCr复合电极与所述探测器主体形成欧姆接触。
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