杭州汇萃智能科技有限公司曾东圣获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州汇萃智能科技有限公司申请的专利表面粗糙度测量传感装置及测量方法与系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120333354B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510820366.1,技术领域涉及:G01B11/30;该发明授权表面粗糙度测量传感装置及测量方法与系统是由曾东圣;周柔刚;周才健;赵书雯;陈恩赞;王班设计研发完成,并于2025-06-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本表面粗糙度测量传感装置及测量方法与系统在说明书摘要公布了:本发明公开的一种表面粗糙度测量传感装置及测量方法与系统,其中表面粗糙度测量传感装置包括:预设光源,偏振光栅,反射镜,偏振相机和数据处理模块,其中,所述预设光源用于发出入射光束;所述偏振光栅用于将入射光束分裂为两个正交的圆偏振光束;所述反射镜用于对两个圆偏振光束进行横向剪切干涉;偏振相机用于对四个不同方向的偏振片阵列进行同时捕获得到四幅相位偏移的干涉图;数据处理模块,用于从干涉图中计算表面粗糙度参数。本发明通过单次拍摄的干涉图直接计算,速度快,实现了非接触、高精度的表面粗糙度测量,抗环境干扰能力强,适用于工业场景中的快速质量检测。
本发明授权表面粗糙度测量传感装置及测量方法与系统在权利要求书中公布了:1.一种表面粗糙度测量方法,其特征在于,应用于一种表面粗糙度测量传感装置,所述装置包括预设光源,偏振光栅,反射镜,偏振相机和数据处理模块; 所述预设光源用于发出入射光束,包括LED灯; 所述偏振光栅用于将入射光束分裂为两个正交的圆偏振光束; 所述反射镜用于对两个圆偏振光束进行横向剪切干涉; 偏振相机用于对四个不同方向的偏振片阵列进行同时捕获得到四幅相位偏移的干涉图,所述偏振相机中的成像光学元件为10倍近红外物镜; 数据处理模块,用于从干涉图中计算表面粗糙度参数,采用统计机器学习方法或者部分积分方法从横向梯度图中计算所述表面粗糙度参数; 其特征在于,所述方法包括如下步骤: 校准测量平坦镜面误差后开始测量; 基于偏振相机捕获的四幅相位偏移干涉图获取横向梯度图; 基于横向梯度图提取干涉图相位并计算表面粗糙度参数; 偏振光栅分裂得到两个正交的圆偏振光束包括右旋圆偏振光和左旋圆偏振光,其中, 右旋圆偏振光的电场表示为: ; 左旋圆偏振光的电场表示为: ; 其中,k为波数,为待测表面的波前,x、y为空间坐标,s为横向剪切距离,为虚数单位; 其中,所述基于横向梯度图提取干涉图相位并计算表面粗糙度参数,具体包括: 从四副干涉图中提取波前的横向梯度,公式为: ; 其中,、、、分别为四幅干涉图的强度,为横向梯度,k为波数; 结合所述横向梯度采用统计机器学习方法或者采用部分积分方法计算所述表面粗糙度参数。
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