天津市环欧新能源技术有限公司任宇甍获国家专利权
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龙图腾网获悉天津市环欧新能源技术有限公司申请的专利辅料参数的影响判定方法、系统、设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120336933B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510786598.X，技术领域涉及：G06F18/24；该发明授权辅料参数的影响判定方法、系统、设备及存储介质是由任宇甍;充豪健;武瑞;张海鹏设计研发完成，并于2025-06-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本辅料参数的影响判定方法、系统、设备及存储介质在说明书摘要公布了：本申请公开了一种辅料参数的影响判定方法、系统、设备及存储介质，涉及半导体分析技术领域。该方法包括：获取目标辅料参数和目标辅料参数对应的切割结果，目标辅料参数用于表征目标辅料的历史参数值；将目标辅料参数的取值范围划分为多个第一区间；根据位于每个第一区间的切割结果的分布情况，对相邻第一区间进行合并，得到多个第二区间；根据位于每个第二区间的目标辅料参数的中心值和切割结果的中位值，确定目标辅料参数对切割结果的影响曲线，影响曲线用于判定目标辅料参数对切割结果的影响。本申请通过对数据进行动态分箱和噪声抑制，能够准确刻画出辅料参数对切割结果的阶段性影响曲线，提升辅料参数对切割结果阶段性影响的判定准确性。
本发明授权辅料参数的影响判定方法、系统、设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种辅料参数的影响判定方法，其特征在于，应用在硅片切割工艺中，实现切割辅料参数对切割结果阶段性影响的判定，所述方法包括： 获取目标辅料参数和所述目标辅料参数对应的切割结果，所述目标辅料参数用于表征目标辅料的历史参数值；所述目标辅料参数是所述硅片切割工艺中的切割辅料参数； 将所述目标辅料参数的取值范围划分为多个第一区间； 根据位于每个所述第一区间的所述切割结果的分布情况，对相邻所述第一区间进行合并，得到多个第二区间；所述切割结果包括切割正常和切割异常；每个所述第一区间的所述切割结果的分布情况与对应的每个所述第一区间的切割结果的正常占比和异常占比有关； 根据位于每个所述第二区间的目标辅料参数的中心值和所述切割结果的中位值，确定所述目标辅料参数对所述切割结果的阶段性影响曲线，所述阶段性影响曲线用于判定所述目标辅料参数对所述切割结果的阶段性影响。
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