华芯程(杭州)科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉华芯程(杭州)科技有限公司申请的专利多参数的版图蚀刻补偿方法、装置、介质、程序产品及终端获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120337849B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510814825.5，技术领域涉及：G06F30/392；该发明授权多参数的版图蚀刻补偿方法、装置、介质、程序产品及终端是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-06-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本多参数的版图蚀刻补偿方法、装置、介质、程序产品及终端在说明书摘要公布了：本申请提供多参数的版图蚀刻补偿方法、装置、介质、程序产品及终端，通过获取包含目标补偿坐标的版图图形和补偿脚本文件。基于补偿脚本文件从版图图形中提取目标补偿坐标对应的多个特征信息及特征参数。针对每个目标补偿坐标根据预设运算指令对特征参数执行综合计算，生成初步补偿值。采用筛选条件过滤不合理补偿结果。根据目标补偿值对目标补偿坐标实施蚀刻补偿操作。解决了现有技术中单一二维蚀刻偏差规则表无法适应多因素影响的问题，提高蚀刻补偿自由度和准确性。
本发明授权多参数的版图蚀刻补偿方法、装置、介质、程序产品及终端在权利要求书中公布了：1.一种多参数的版图蚀刻补偿方法，其特征在于，包括： 获取版图图形和补偿脚本文件，所述版图图形中包含一个或多个目标补偿坐标； 基于所述补偿脚本文件执行如下操作；从所述版图图形中获取与所述目标补偿坐标对应的多个特征信息，以及每个特征信息的特征参数；针对每个目标补偿坐标，根据运算指令对预设特征信息的特征参数执行补偿计算操作，以生成初步补偿值；其中，根据运算指令对预设特征信息的特征参数执行补偿计算操作，以生成初步补偿值的过程包括：从所述多个特征信息中筛选出运算指令中定义的预设特征信息；根据运算指令中的运算类型，对所述预设特征信息执行逻辑运算、算数运算、拓扑运算和关系运算中的一种或多种计算，以生成初步补偿值；根据过滤条件对所述初步补偿值执行筛选过滤操作，以生成目标补偿值； 根据所述目标补偿值对所述目标补偿坐标执行蚀刻补偿操作。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人华芯程(杭州)科技有限公司，其通讯地址为：311100 浙江省杭州市余杭区良渚街道网周路99号1幢22层2208室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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