深圳市板明科技股份有限公司韦金宇获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市板明科技股份有限公司申请的专利用于IC载板显影的低泡显影添加剂及其显影方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120353104B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510865374.8，技术领域涉及：G03F7/32；该发明授权用于IC载板显影的低泡显影添加剂及其显影方法是由韦金宇;陈洪;刘江;黄廉锋设计研发完成，并于2025-06-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于IC载板显影的低泡显影添加剂及其显影方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于IC载板显影的低泡显影添加剂及其显影方法，涉及IC载板生产技术领域。用于IC载板显影的低泡显影添加剂包括以下质量浓度的组分：促进剂1.0‑3.0%；湿润剂1.0‑3.0%；保护剂0.5‑2.0%；螯合剂1.5‑3.5%；抑泡剂0.2‑1.0%。该用于IC载板显影的低泡显影添加剂具有低泡高效、精准显影、稳定耐用、广泛兼容等优点，可应用于10μm线宽线距的IC载板显影工序，显影后图形清晰完整，显影残留率低。
本发明授权用于IC载板显影的低泡显影添加剂及其显影方法在权利要求书中公布了：1.用于IC载板显影的低泡显影添加剂，其特征在于，包括以下质量浓度的组分： 促进剂1.0-3.0%； 湿润剂1.0-3.0%； 保护剂0.5-2.0%； 螯合剂1.5-3.5%； 抑泡剂0.2-1.0%； 所述的促进剂具有如下式1的结构： 1； 式1中，聚合度n=2，3，4； 所述的湿润剂选自四甲基氟代脲六氟磷酸酯、三五氟苯基磷酸酯、双2-全氟辛基乙基磷酸酯中的一种或者多种的混合物； 所述的保护剂选自双酚A双烯丙基醚、双酚A二2，3-二羟基丙基醚、双酚A二缩水甘油醚中的一种或者多种的混合物； 所述的螯合剂选自4-巯基苯甲酸、4-巯基丁酸、2-巯基苯并咪唑羧酸中的一种或者多种的混合物； 所述的抑泡剂选自N-苯基苄基羟胺、2,4-二氯苄基羟胺、N-苄基-N-羟基乙酰胺中的一种或者多种的混合物。
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