深圳中科飞测科技股份有限公司张鹏斌获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利一种承载装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120388931B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510874310.4,技术领域涉及:H01L21/683;该发明授权一种承载装置是由张鹏斌;陈贵龙;洪艮超;刘玉东;陈鲁设计研发完成,并于2025-06-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种承载装置在说明书摘要公布了:一种承载装置,包括承载组件和驱动组件,承载组件包括承载盘、顶膜件、传送件和驱动机构;其中,承载盘包括吸附部、过渡部和承载部,顶膜件设置于过渡部中,传送件设置于承载部中;驱动机构驱动顶膜件上升顶起被测件的胶膜部,使被测件与承载盘间隔;驱动组件驱动传送件升降,以通过传送件承接或释放被测件。利用吸附部吸附被测件,可将被测件以正面朝上的姿态稳固地固定于承载盘;而基于顶膜件与传送件的配合,利用顶膜件支撑被测件的胶膜部,可避免被测件接触承载盘并调节胶膜的绷紧程度,使被测件以背面朝上的姿态被承载固定;如此,赋予承载装置兼具正面和背面承载的双重功能,为基于同一检测设备实现正检和背检作业提供支持。
本发明授权一种承载装置在权利要求书中公布了:1.一种承载装置,其特征在于,包括承载组件和驱动组件,所述承载组件包括承载盘、顶膜件、传送件和驱动机构;其中: 所述承载盘包括吸附部、围绕所述吸附部的过渡部和围绕所述过渡部的承载部,所述承载部的上表面低于所述吸附部及所述过渡部的上表面;所述顶膜件设置于所述过渡部中,所述传送件设置于所述承载部中;所述过渡部设有凹槽,所述顶膜件设置于所述凹槽中,且所述顶膜件的上表面低于所述过渡部的上表面; 所述驱动机构被配置为驱动所述顶膜件相对所述承载盘升降,以通过所述顶膜件顶起被测件的胶膜部,使所述被测件与所述吸附部间隔; 所述驱动组件被配置为驱动所述传送件相对所述承载盘升降,以通过所述传送件承接或释放所述被测件。
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