长春智冉光电科技有限公司王富国获国家专利权
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龙图腾网获悉长春智冉光电科技有限公司申请的专利一种适用于光刻物镜的可变光阑及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120428423B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510934504.9，技术领域涉及：G02B26/02；该发明授权一种适用于光刻物镜的可变光阑及方法是由王富国;张奔雷;王贺;付麒设计研发完成，并于2025-07-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种适用于光刻物镜的可变光阑及方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种适用于光刻物镜的可变光阑及方法，涉及光学仪器技术领域，光阑包括驱动单元、薄片顶盖、光阑叶片组件、薄片底座、转轴、轴承和轴承安装架，通过驱动单元驱动薄片底座转动，使光阑叶片上远离薄片顶盖一面的转轴在薄片底座上转动，光阑叶片上靠近薄片顶盖一面的转轴在滑槽中滑动，实现光阑叶片组件内切圆直径大小的调节，从而完成光阑口径的调节，采用光阑叶片在滑槽中滑动的方式使光阑调节精度高，同时驱动薄片底座即可实现光阑口径调节，简化了整体的结构和体积，解决了现有传统光阑存在调节精度低、结构复杂以及体积较大的问题。
本发明授权一种适用于光刻物镜的可变光阑及方法在权利要求书中公布了：1.一种适用于光刻物镜的可变光阑，包括：驱动单元和光阑主体，其特征在于，所述光阑主体包括纵向依次设置的薄片顶盖105、光阑叶片组件103、薄片底座104、轴承和轴承安装架，光阑叶片组件103包括多片光阑叶片，光阑叶片的两面均设置有转轴，薄片顶盖105上设置有与转轴对应的滑槽1051，光阑叶片上靠近薄片顶盖105一面的转轴滑动设置在滑槽1051上，光阑叶片上远离薄片顶盖105一面的转轴与薄片底座104转动连接，薄片底座104与轴承连接，轴承安装在轴承安装架上，驱动单元的动力输出端与薄片底座104连接，薄片顶盖105与轴承安装架连接，光阑叶片的截面为半圆环形，且光阑叶片首尾两端的宽度相等。
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