深圳中科飞测科技股份有限公司张龙获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利双检测通道下晶圆缺陷数据对齐方法、设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120451165B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510954018.3，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权双检测通道下晶圆缺陷数据对齐方法、设备及存储介质是由张龙;何金彬;陈鲁设计研发完成，并于2025-07-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本双检测通道下晶圆缺陷数据对齐方法、设备及存储介质在说明书摘要公布了：本发明公开了一种双检测通道下晶圆缺陷数据对齐方法、设备及存储介质，其中方法包括：分别获取两个检测通道下晶圆图像的缺陷掩膜并取并集，得到综合掩膜；对综合掩膜进行区域连通性分析，得到连通域及连通域参数信息；基于连通域参数信息分别在两个检测通道下的缺陷掩膜中截取对应的缺陷区域；将存在缺陷且对应综合掩膜上同一连通域的缺陷区域内的缺陷划分为同一缺陷组别。本发明能够将从两个不同检测通道下获取的晶圆图像中识别的缺陷进行数据对齐，更加准确的完成晶圆表面的缺陷分类。
本发明授权双检测通道下晶圆缺陷数据对齐方法、设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种双检测通道下晶圆缺陷数据对齐方法，其特征在于，其包括： 分别获取两个检测通道下晶圆图像的缺陷掩膜并取并集，得到综合掩膜； 对所述综合掩膜进行区域连通性分析，得到连通域及连通域参数信息； 基于所述连通域参数信息分别在两个检测通道下的缺陷掩膜中截取对应的缺陷区域； 将存在缺陷且对应所述综合掩膜上同一连通域的缺陷区域内的缺陷划分为同一缺陷组别。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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