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龙图腾网获悉上海芯源微企业发展有限公司申请的专利机台加热系统的控温方法、装置、可读介质及电子设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120523262B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511036965.0，技术领域涉及：G05D23/30；该发明授权机台加热系统的控温方法、装置、可读介质及电子设备是由谢岩;王艳华;杜浩浩设计研发完成，并于2025-07-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本机台加热系统的控温方法、装置、可读介质及电子设备在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体技术领域，公开了一种机台加热系统的控温方法、装置、可读介质及电子设备。本申请的机台加热系统的控温方法包括：获取加热器的相关数据；基于加热器的相关数据确定出前馈增益和扰动量，前馈增益用于在检测到扰动量突增的情况下结合扰动量确定出加热器的前馈补偿功率；基于加热器的相关数据确定出加热器的耗散模型，以基于耗散模型确定出加热器的耗散补偿功率；在机台喷液工况下，如果满足设定的过程补偿条件，则确定出加热器的过程补偿功率；基于前馈补偿功率、耗散补偿功率以及过程补偿功率确定出加热器的目标加热功率。本申请具有提升温度控制响应速度、实现多维度功率补偿协同以及提高半导体制造工艺中温度稳定性的优点。

本发明授权机台加热系统的控温方法、装置、可读介质及电子设备在权利要求书中公布了：1.一种机台加热系统的控温方法，其特征在于，用于机台加热系统的控制器，所述机台加热系统还包括加热器，所述方法包括： 获取加热器的相关数据； 基于所述加热器的相关数据确定出与所述加热器对应的前馈增益和扰动量，所述前馈增益用于在检测到所述扰动量突增的情况下结合所述扰动量确定出所述加热器的前馈补偿功率； 基于所述加热器的相关数据确定出所述加热器的耗散模型，以基于所述耗散模型确定出所述加热器的耗散补偿功率； 通过以下方式基于所述加热器的相关数据确定出所述加热器的耗散模型： 对所述加热器的相关数据进行分析，得到所述加热器的温度耗散特征； 基于所述加热器的温度耗散特征建立关于所述加热器入口流量以及所述加热器出口温度的耗散多项式； 对所述耗散多项式中变量的系数和常量的数值进行求解，得到求解后的耗散多项式，将所述求解后的耗散多项式确定为所述耗散模型； 在机台喷液工况下，如果满足设定的过程补偿条件，则确定出所述加热器的过程补偿功率； 基于所述前馈补偿功率、所述耗散补偿功率以及所述过程补偿功率，确定出所述加热器的目标加热功率。

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