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龙图腾网获悉长沙市熔材科技有限公司申请的专利一种真空室连续供料机构及物理气相沉积装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120536875B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511038266.X，技术领域涉及：C23C14/30；该发明授权一种真空室连续供料机构及物理气相沉积装置是由吴宗;李琦;谭海洋设计研发完成，并于2025-07-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种真空室连续供料机构及物理气相沉积装置在说明书摘要公布了：本发明涉及真空沉积技术领域，特别是一种真空室连续供料机构及物理气相沉积装置，包括传输室，其内部具有腔体空间，腔体空间还具有可与真空室连通的第一开口，以及可与外部连通的第二开口；以及，输送组件，其用于携带物料沿设定的输送路径Pi移动，且输送组件沿其输送路径Pi往复运动；其中，物料进入真空室的总输送路径P依次穿过第二开口、腔体空间以及第一开口；第一开口仅在腔体空间的真空度低于预设值时开启，第二开口仅在第一开口关闭时开启。本发明通过设置的传输室和输送组件之间相互配合，可在不对真空室破真空的情况下，实现对真空室内连续供料的效果，且靶材在输送过程中可实现高效定位。

本发明授权一种真空室连续供料机构及物理气相沉积装置在权利要求书中公布了：1.一种真空室连续供料机构，其特征在于：包括， 传输室100，其内部具有腔体空间， 所述腔体空间还具有可与真空室200连通的第一开口101，以及可与外部连通的第二开口102；以及， 输送组件300，其用于携带物料沿设定的输送路径Pi移动，且所述输送组件300沿其输送路径Pi往复运动； 其中，物料进入所述真空室200的总输送路径P依次穿过第二开口102、腔体空间以及第一开口101； 所述第一开口101仅在腔体空间的真空度低于预设值时开启，所述第二开口102仅在第一开口101关闭时开启； 所述输送组件300具有双层结构，其包括设于下方的支撑板301以及设于上方的推料板302，所述推料板302相对支撑板301在输送路径Pi上往复运动； 所述支撑板301沿竖直方向贯通开设有与物料适配的放料槽301a，所述推料板302沿竖直方向贯通开设有与物料适配的推料槽302a； 所述输送组件300沿物料总输送路径P的输送方向设置有j组，且j≥2； 其中，至少一组所述输送组件300设于腔体空间内，另一组所述输送组件300设于第二开口102外； 并且在任意两组相邻输送组件300中，前一组输送组件300的放料槽301a在其输送路径Pi的终点位置X，与后一组输送组件300的推料槽302a在其输送路径Pi+1的起点位置Y满足： 位置X的水平高度不低于位置Y的水平高度，且移动至位置X处的放料槽301a与移动至位置Y的推料槽302a在竖直方向上具有容纳物料贯通的相交区域S，1≤i＜j。

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