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龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利一种用于两组晶圆缺陷点坐标的匹配方法及相关产品获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120561614B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510985945.1，技术领域涉及：G06F18/22；该发明授权一种用于两组晶圆缺陷点坐标的匹配方法及相关产品是由张龙;李贵杰;赵康俊;陈鲁设计研发完成，并于2025-07-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于两组晶圆缺陷点坐标的匹配方法及相关产品在说明书摘要公布了：本申请公开了一种用于两组晶圆缺陷点坐标的匹配方法及相关产品，可应用于半导体技术领域，该方法包括：获取第一索引数组和第二索引数组；第一索引数组对应第一晶圆的一组缺陷点测量结果，第二索引数组对应第一晶圆的另一组缺陷点测量结果；基于二分法从第二索引数组中确定与第一索引数组中的参考点索引对应的候选点索引集合；从候选点索引集合中确定与参考点索引对应的目标点索引；若目标点索引对应的最近邻点同样与参考点索引对应，则将目标点索引与参考点索引进行匹配。如此，结合索引数组与一对多匹配的快速计算方法，消除了匹配过程中的内存拷贝与冗余计算，提高了晶圆缺陷点坐标的匹配效率。

本发明授权一种用于两组晶圆缺陷点坐标的匹配方法及相关产品在权利要求书中公布了：1.一种用于两组晶圆缺陷点坐标的匹配方法，其特征在于，所述方法包括： 获取第一晶圆的两组缺陷点测量结果； 基于其中一组缺陷点测量结果中的各个缺陷点坐标构建第一点集； 结合内省排序算法，将所述第一点集按照预设排序规则对应生成第一索引数组； 基于另一组缺陷点测量结果中的各个缺陷点坐标构建第二点集； 结合所述内省排序算法，将所述第二点集按照所述预设排序规则对应生成第二索引数组； 获取第一索引数组和第二索引数组；所述第一索引数组对应第一晶圆的一组缺陷点测量结果，所述第二索引数组对应所述第一晶圆的另一组缺陷点测量结果； 基于二分法从所述第二索引数组中确定与所述第一索引数组中的参考点索引对应的候选点索引集合；具体包括：选定参考点索引，所述参考点索引为所述第一索引数组中的一个索引；基于搜索半径设置所述参考点索引对应的候选区域；基于二分法从所述第二索引数组中确定处于所述候选区域内的全部候选点索引，并基于所述全部候选点索引构建与所述参考点索引对应的候选点索引集合； 所述二分法设有初始步长、收敛规则以及终止条件； 所述初始步长的表达式为，为初始步长，为所述第二索引数组中的索引数量； 所述收敛规则的表达式为，为第n+1轮收敛后的步长，为第n轮收敛后的步长，为收敛率，=2； 所述终止条件为步长等于1，且候选点坐标满足，为候选点的纵坐标，为与候选点对应的参考点的纵坐标，为搜索半径； 从所述候选点索引集合中确定与所述参考点索引对应的目标点索引；具体包括：分别确定所述候选点索引集合中各个候选点索引所对应的候选点与所述参考点索引所对应的参考点之间的距离；确定所述距离的平方值小于或等于搜索半径的平方值的候选点为第一目标点；将所述第一目标点中与所述参考点相距最近的点作为第二目标点，并将所述第二目标点对应的索引作为与所述参考点索引对应的目标点索引； 若所述目标点索引对应的最近邻点同样与所述参考点索引对应，则将所述目标点索引与所述参考点索引进行匹配。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳中科飞测科技股份有限公司，其通讯地址为：518109 广东省深圳市龙华区观澜街道新澜社区观光路1301-14号101、102；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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