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龙图腾网获悉苏州矽行半导体技术有限公司申请的专利一种明场显微成像像质检测系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120609551B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511120745.6，技术领域涉及：G01M11/02；该发明授权一种明场显微成像像质检测系统是由马平准;陶齐勇;王少卿;王婧;陶大帅设计研发完成，并于2025-08-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种明场显微成像像质检测系统在说明书摘要公布了：本发明提供了一种明场显微成像像质检测系统，属于成像像质检测领域，系统包括成像光学模块、明场照明光学模块、载台和像质检测纳米点机构；成像光学模块设置在载台上方，成像光学模块采集载台上的像质检测纳米点机构的图像实现像质检测；像质检测纳米点机构包括纳米结构散射体和基板。本发明通过设计照明光瞳并对纳米点机构进行设计，实现P偏振光布鲁斯特角照明方式，并滤除基板二次反射光对图像信噪比的不良影响，降低了基于纳米结构成像的点扩散函数测量中的基板反射光对图像信噪比的严重影响，提高了在线像质检测的信噪比。系统可在显微成像、纳米级半导体量检测、套刻量检测等需要在线像质检测的领域推广应用。

本发明授权一种明场显微成像像质检测系统在权利要求书中公布了：1.一种明场显微成像像质检测系统，其特征在于：明场显微成像像质检测系统包括成像光学模块、明场照明光学模块5、载台8和像质检测纳米点机构9； 所述成像光学模块设置在载台8上方，明场照明光学模块5通过照明光路模块6向载台8上的像质检测纳米点机构9提供照明，成像光学模块通过采集像质检测纳米点机构的图像实现在线像质检测； 成像光学模块包括成像单元1、筒镜组2和物镜组3，成像单元1接收筒镜组2和物镜组3的收集光线实现图像采集；在照明光路模块6的照明光瞳面上设置偏振可调、孔径位置和大小可调的可变照明光瞳光阑4； 像质检测纳米点机构9包括纳米结构散射体11和基板12，在基板12的上、下表面设置高反镀膜13，在基板12的上表面的中部设为不设高反镀膜13的成像区14，所述纳米结构散射体11设置在于所述成像区14，成像区14的成像区域大小满足关系W2*H*tanc，其中，W为成像区域大小，b为照明光的入射角，c为照明光经入射角b折射进入基板12后的反射角，H为基板厚度。

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