合肥晶合集成电路股份有限公司胡万春获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利晶圆洗边方法及洗边设备、装置、电子设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120625183B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511128280.9，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权晶圆洗边方法及洗边设备、装置、电子设备是由胡万春设计研发完成，并于2025-08-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆洗边方法及洗边设备、装置、电子设备在说明书摘要公布了：本公开涉及一种晶圆洗边方法及洗边设备、装置、电子设备，涉及半导体技术领域。晶圆洗边方法通过清洗晶圆的边缘的第一区域，检测从每个子区域收集的清洗液，得到多个子区域的清洗液的当前数据信息，当前数据信息包括子区域的清洗液的当前体积信息和清洗液中铜离子的当前浓度信息，根据多个子区域的清洗液的当前数据信息，确定晶圆的洗边均匀性；利用晶圆的洗边过程中各子区域的清洗液的当前数据信息，对各子区域的洗边均匀性进行实时检测，通过多个子区域的清洗液的当前数据信息量化各子区域的洗边效果，无需采用光学法检测，检测过程不会受到晶圆表面质量和光洁度的干扰，降低了检测难度，提高了检测可靠性。
本发明授权晶圆洗边方法及洗边设备、装置、电子设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆洗边方法，其特征在于，所述洗边方法包括： 清洗晶圆的边缘的第一区域，所述第一区域包括沿所述晶圆的周向均匀设置的多个子区域； 检测从每个所述子区域收集的清洗液，得到多个所述子区域的清洗液的当前数据信息，所述当前数据信息包括所述子区域的所述清洗液的当前体积信息和所述清洗液中铜离子的当前浓度信息； 根据多个所述子区域的清洗液的所述当前数据信息，确定所述晶圆的洗边均匀性。
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