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龙图腾网获悉埃克斯控股(北京)有限公司申请的专利用于半导体设备的数据处理方法、装置、设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120630838B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511105718.1，技术领域涉及：G05B19/042；该发明授权用于半导体设备的数据处理方法、装置、设备及存储介质是由郭定京军;郭宇翔;傅慧初;宋泰然;李倓设计研发完成，并于2025-08-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于半导体设备的数据处理方法、装置、设备及存储介质在说明书摘要公布了：本发明涉及数据处理技术领域，尤其涉及用于半导体设备的数据处理方法、装置、设备及存储介质，所述方法的核心在于通过逻辑全局时钟实现全链路时间同步，并结合数据处理路径选择与精确控制指令生成，构建一个时间统一、计算协同及控制精准的闭环处理架构；通过逻辑全局时钟统一时间基准，有效解决了传统框架中EventTime与ProcessingTime碎片化导致的时序错乱问题；进一步地，基于任务属性选择数据处理路径，实现了简单任务低延迟处理与复杂任务高精度分析的协同，克服了流批计算资源割裂的缺陷；而精准的控制指令生成机制则确保了控制动作与物理时机强关联，满足半导体设备微秒级控制精度要求。

本发明授权用于半导体设备的数据处理方法、装置、设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体设备的数据处理方法，其特征在于，包括： 当接收到原始传感器数据时，调用逻辑全局时钟服务，为原始传感器数据配置当前输入时间戳，所述当前输入时间戳为微秒级； 当任一算子执行时，查询逻辑全局时钟服务以获取当前执行时间，基于配置有当前输入时间戳的传感器数据和所获取的当前执行时间，完成算子执行过程，并获取算子执行后输出的中间结果； 当接收到待处理任务时，获取与待处理任务对应的任务属性，基于任务属性和中间结果确认数据处理路径；具体的，当接收到待处理任务时，获取与待处理任务对应的任务属性，所述任务属性包括简单逻辑任务和复杂计算任务；当任务属性为简单逻辑任务时，采用实时流路径对待处理任务进行处理；当任务属性为复杂计算任务时，结合中间结果，采用批式路径对待处理任务进行处理； 基于所确认的数据处理路径对待处理任务进行处理，并获取处理结果；具体的，获取设备的实时运行参数，结合设备的实时运行参数、配置有当前输入时间戳的原始传感器数据以及中间结果，生成用于实现实时流路径与批式路径交互的上下文状态信息；当数据处理路径为实时流路径时，对待处理任务进行流式处理，获取与待处理任务对应的流式处理信息，并将流式处理信息写入所述上下文状态信息，得到流式处理结果；当数据处理路径为批式路径时，查询逻辑全局时钟服务以获取当前处理时间，基于当前处理时间更新所述上下文状态信息；基于更新后的上下文状态信息对待处理任务进行处理，得到与待处理任务对应的批式处理信息；将批式处理信息写入更新后的上下文状态信息，得到批式处理结果，并将批式处理结果返回至实时流路径； 查询逻辑全局时钟服务以获取当前控制时间，基于处理结果，结合原始传感器数据所配置的当前输入时间戳和当前控制时间，生成与待处理任务对应的控制指令。

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