买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉成都沃特塞恩电子技术有限公司申请的专利辉光放电控制方法、装置及电子设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120649009B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511140264.1，技术领域涉及：C23C16/511；该发明授权辉光放电控制方法、装置及电子设备是由刘文科;李俊宏;韦明勉设计研发完成，并于2025-08-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本辉光放电控制方法、装置及电子设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种辉光放电控制方法、装置及电子设备，包括接收设置放电功率和设置压强，直到放电功率和压强满足自动控制条件，控制进入自动控制升温；在自动控制升温过程，获取反应腔内样品台的温度，基于上下限功率曲线和上下限压强曲线，根据当前的放电功率和压强，交替增大压强和放电功率，直到放电功率和压强到达升温的最终值进入持续控制过程；在持续控制过程，根据温度上限和温度下限、当前的放电功率和压强、上下限功率曲线和上下限压强曲线，维持反应腔内的温度；响应于进入自动控制降温过程，基于上下限功率曲线和上下限压强曲线，根据当前的放电功率和压强交替减小压强和放电功率直到放电功率和压强到达降温的最终值。提高沉积的成功率。

本发明授权辉光放电控制方法、装置及电子设备在权利要求书中公布了：1.一种辉光放电控制方法，其特征在于，所述方法包括： 响应于辉光放电的启动操作，接收根据上下限功率曲线以及上下限压强曲线通过操作面板输入反应腔的设置放电功率以及设置压强，直到所述反应腔的放电功率以及压强满足自动控制条件，控制进入自动控制升温，其中，所述上下限功率曲线以及所述上下限压强曲线是根据不同压强下测试得到的符合最佳辉光放电区域的最佳放电功率、最小放电功率以及最大放电功率得到的； 在所述自动控制升温过程，通过设置于所述反应腔内的红外测温仪获取所述反应腔内样品台的温度，并基于所述上下限功率曲线以及所述上下限压强曲线，根据所述反应腔当前的所述放电功率以及所述反应腔内当前的压强，交替增大所述压强以及所述放电功率，直到所述反应腔的所述放电功率以及所述压强到达升温的最终值，进入持续控制过程； 在所述持续控制过程，根据接收到的通过所述操作面板输入的温度上限以及温度下限、所述反应腔当前的所述放电功率和压强、所述上下限功率曲线以及所述上下限压强曲线，维持所述反应腔内的温度； 响应于进入自动控制降温过程，基于所述上下限功率曲线以及所述上下限压强曲线，根据所述反应腔当前的所述放电功率以及所述反应腔内当前的压强，交替减小所述压强以及所述放电功率，直到所述反应腔的所述放电功率以及所述压强到达降温的最终值。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人成都沃特塞恩电子技术有限公司，其通讯地址为：610000 四川省成都市高新区益州大道中段1800号3栋3层301号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。