合肥晶合集成电路股份有限公司赵广获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利版图图形的修正方法、装置、计算机设备及版图图形结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120704052B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511181902.4，技术领域涉及：G03F1/36；该发明授权版图图形的修正方法、装置、计算机设备及版图图形结构是由赵广;罗招龙设计研发完成，并于2025-08-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本版图图形的修正方法、装置、计算机设备及版图图形结构在说明书摘要公布了：本申请涉及一种版图图形的修正方法、装置、计算机设备及版图图形结构。版图图形的修正方法包括以目标孔的关键尺寸为直径，得到第一目标图形，第一目标图形的圆心与目标孔的中心重合；设置多条穿过第一目标图形的圆心的直线，多条直线与第一目标图形的交点为第一评价点；在每一第一评价点处设置一矩形图形，矩形图形的目标边与第一目标图形在第一评价点处相切；根据多个矩形图形得到第二目标图形；基于第二目标图形进行模拟曝光，得到曝光图形；获取曝光图形的真圆度；根据真圆度调整矩形图形的尺寸，得到修正后的版图图形。本申请的修正方法可以改善基于修正后的版图图形形成的通孔的形状，改善了通孔与前层结构容易出现套准风险的问题。
本发明授权版图图形的修正方法、装置、计算机设备及版图图形结构在权利要求书中公布了：1.一种版图图形的修正方法，其特征在于，包括： 以目标孔的关键尺寸为直径，得到第一目标图形，所述第一目标图形的圆心与所述目标孔的中心重合； 设置多条穿过所述第一目标图形的圆心的直线，多条所述直线与所述第一目标图形的交点为第一评价点； 在每一所述第一评价点处设置一矩形图形，所述矩形图形的目标边与所述第一目标图形在所述第一评价点处相切； 根据多个所述矩形图形得到第二目标图形； 基于所述第二目标图形进行模拟曝光，得到曝光图形； 获取所述曝光图形的真圆度； 根据所述真圆度调整所述矩形图形的尺寸，得到修正后的版图图形。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人合肥晶合集成电路股份有限公司，其通讯地址为：230012 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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