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龙图腾网获悉无锡展硕科技有限公司申请的专利一种半导体晶圆的高精度真空反应腔室温度补偿装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120738631B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511183129.5，技术领域涉及：C23C16/52；该发明授权一种半导体晶圆的高精度真空反应腔室温度补偿装置是由季中伟设计研发完成，并于2025-08-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体晶圆的高精度真空反应腔室温度补偿装置在说明书摘要公布了：本发明涉及应用于半导体器件领域的一种半导体晶圆的高精度真空反应腔室温度补偿装置，包括有真空反应腔室和搭载在真空反应腔室控制箱内的温度补偿系统，通过预热感应组件、换热感应组件和温度补偿系统的协同配合，实现对前置预热温度数据和后续工艺气体流经真空反应腔室内换热后的温度数据进行双重采集，然后根据双重温度数据的结果，实现对前置预热温度和腔室内温度的协同补偿作用，动态维持工艺气体温度和腔室温度间的差值稳定，有效抑制了因腔室温度起伏引发的异常温差波动，杜绝了工艺气体进入时产生骤冷现象的风险，同时成功消除气体注入过程中的动态温差扰动，实现了对反应温度的精确补偿与精细调控。

本发明授权一种半导体晶圆的高精度真空反应腔室温度补偿装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体晶圆的高精度真空反应腔室温度补偿装置，其特征在于：包括有真空反应腔室1和搭载在真空反应腔室1控制箱内的温度补偿系统，所述真空反应腔室1左端设置有与其相接通的进气通道11，所述进气通道11内设置有预热感应组件3，所述真空反应腔室1右端设置有与其相接通的出气通道12，所述出气通道12内设置有换热感应组件4；所述温度补偿系统包括有温度补偿处理单元，所述温度补偿处理单元的输入端连接有预热状态采集单元和换热状态采集单元，所述温度补偿处理单元的输出端连接有温度补偿单元；所述预热状态采集单元的输入端与预热感应组件3信号连接，所述换热状态采集单元的输入端与换热感应组件4信号连接，所述温度补偿单元的输出端分别与设置在真空反应腔室1上的温控系统和设置在工艺气体控制系统内的前置预热结构信号连接； 所述进气通道11内壁左侧开设有预热感应槽111，所述预热感应组件3包括有固定设置在预热感应槽111左端的预热下限触环31和固定设置在预热感应槽111右端的预热上限触环33，所述预热感应槽111内滑动连接有设置在预热下限触环31和预热上限触环33之间的预热显示环32，所述预热状态采集单元的输入端分别与预热下限触环31和预热上限触环33信号连接；所述出气通道12内壁右侧开设有换热感应槽121，所述换热感应组件4包括有固定设置在换热感应槽121左端的换热下限触环41和固定设置在换热感应槽121右端的换热上限触环43，所述换热感应槽121内滑动连接有设置在换热下限触环41和换热上限触环43之间的换热显示环42，所述换热状态采集单元的输入端分别与换热下限触环41和换热上限触环43信号连接； 所述预热下限触环31和预热显示环32之间固定连接有预热记忆形变条34，预热记忆形变条34吸收预热后的工艺气体的热量，产生吸热形变，并带动预热显示环32产生对应的移动动作：在预热显示环32与预热下限触环31抵接时，预热状态采集单元接收到下限触发的数据；在预热显示环32既不与预热下限触环31抵接，也不与预热上限触环33抵接时，预热状态采集单元接收到双断开数据；在预热显示环32与预热上限触环33抵接时，预热状态采集单元接收到上限触发的数据；预热状态采集单元将数据传输至温度补偿处理单元，在传输的数据为非双断开数据时，温度补偿处理单元通过温度补偿单元对前置预热结构进行温度补偿控制，在传输的数据为双断开数据时，温度补偿处理单元不产生调控作用； 所述换热下限触环41和换热显示环42之间固定连接有换热记忆形变条44，换热记忆形变条44吸收排出的工艺气体的热量，产生吸热形变，并带动换热显示环42产生对应的移动动作：在换热显示环42与换热下限触环41抵接时，换热状态采集单元接收到换热下限数据；在换热显示环42既不与换热下限触环41抵接，也不与换热上限触环43抵接时，换热状态采集单元接收到双断开数据；在换热显示环42与换热上限触环43抵接时，换热状态采集单元接收到换热上限的触发数据； 换热状态采集单元将数据传输至温度补偿处理单元，温度补偿处理单元结合此时预热状态数据进行控制；在传输的数据为换热下限数据时，预热状态数据为非下限触发状态，温度补偿单元对温控系统进行温度补偿控制，预热状态数据为下限触发状态，温度补偿单元对前置预热结构和温控系统进行同步控制；在传输的数据为双断开数据时，预热状态数据为非双断开状态，温度补偿单元对前置预热结构和温控系统进行同步控制，预热状态数据为双断开状态，温度补偿单元不产生调控作用；在传输的数据为换热上限数据时，预热状态数据为非双断开状态，温度补偿单元对前置预热结构和温控系统进行同步控制，预热状态数据为双断开状态，温度补偿单元对温控系统进行温度补偿控制。

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