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龙图腾网获悉江苏希尔芯半导体设备有限公司申请的专利OLED面板掩膜板蚀刻装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120738645B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511262224.4，技术领域涉及：C23F1/08；该发明授权OLED面板掩膜板蚀刻装置是由周平;张少平设计研发完成，并于2025-09-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本OLED面板掩膜板蚀刻装置在说明书摘要公布了：本发明适用于OLED面板制作技术领域，提供了OLED面板掩膜板蚀刻装置，包括外壳、蚀刻组件、集液组件以及控制系统；所述外壳包括对称设置的两组侧板，所述侧板底部设置有六组支撑柱，所述侧板顶部安装有壳体，所述壳体两端分别设置有一组移门；所述外壳用于封闭蚀刻环境，为蚀刻提供稳定环境，同时避免蚀刻产生的气体外溢；所述蚀刻组件包括转动连接于两组壳体内侧的若干组传送杆，该装置解决了在蚀刻过程中，蚀刻剂不仅会垂直蚀刻材料，还会沿着侧壁进行横向蚀刻的现象。这种现象会导致蚀刻宽度增加，从而影响蚀刻结果的精确性的问题。达到了通过监测蚀刻过程，并根据监测结果对蚀刻过程的温度、压力进行调整达到减少侧壁蚀刻的目的。

本发明授权OLED面板掩膜板蚀刻装置在权利要求书中公布了：1.OLED面板掩膜板蚀刻装置，其特征在于：包括外壳1、蚀刻组件2、集液组件3以及控制系统； 所述外壳1包括对称设置的两组侧板13，所述侧板13底部设置有六组支撑柱14，所述侧板13顶部安装有壳体12，所述壳体12设置为C字型结构，所述壳体12两端分别设置有一组移门11；所述外壳1用于封闭蚀刻环境，为蚀刻提供稳定环境，同时避免蚀刻产生的气体外溢； 所述蚀刻组件2包括转动连接于两组壳体12内侧的若干组传送杆23、传送杆23上环绕设置的若干组感应环231、连接于壳体12一侧的传送驱动21、安装于壳体12顶部的两组蚀刻模块22、安装于蚀刻模块22上的喷淋头225与超声波探头226，所述传送驱动21为若干组传送杆23提供动力，所述传送杆23顶部设置有掩膜板4；所述蚀刻组件2用于对掩膜板4进行喷淋蚀刻，并根据监测掩膜板4的蚀刻效果进行实时调整； 所述集液组件3包括安装于壳体12底部的顶板31，所述顶板31的两侧位置分别对称安装有一组集液板32； 所述掩膜板4包括掩膜板基板42，所述掩膜板基板42表面覆盖有掩膜41，所述掩膜41上刻画有加工图案，所述掩膜板基板42通过蚀刻工艺按照掩膜41加工图案在其表面加工出掩膜板加工孔43； 所述控制系统与外壳1、蚀刻组件2电性连接，所述控制系统用于监测掩膜板4的蚀刻效果，根据掩膜板4的蚀刻效果对外壳1内的环境进行控制、并对蚀刻组件2的蚀刻速率进行控制； 所述控制系统包括监测模块、控制模块以及交互模块； 所述监测模块包括集成于外壳1内部的温度监测模块、压力监测模块、流速监测模块以及蚀刻监测模块，所述温度监测模块用于监测外壳1内部的温度，所述压力监测模块用于监测外壳1内部的压力，所述流速监测模块用于监测喷淋头225的喷淋速度，所述蚀刻监测模块用于监测掩膜板4的蚀刻效果，所述蚀刻监测模块接收超声波探头226传输的超声波信号； 所述控制模块用于控制外壳1内部的温度、压力，所述控制模块接收监测模块传输的温度、压力信息； 所述交互模块包括表征模块与干预模块，所述表征模块接收监测模块中温度监测模块传输的温度信息以及压力监测模块传输的压力信息，并将温度、压力信息表征于操作人员处，所述表征模块接收蚀刻监测模块传输的孔径变化曲线图；所述干预模块用于操作人员强制执行调节温度、压力以及系统的运行与停止； 所述孔径变化曲线图由孔径变化曲线构成，所述孔径变化曲线是由蚀刻监测模块将掩膜板加工孔43处孔径数据建立，共建立两条孔径变化曲线，一条为宽度变化曲线、一条为长度变化曲线，所述蚀刻监测模块分别设置宽度变化理想曲线、长度变化理想曲线，并将宽度变化曲线与宽度变化理想曲线进行曲线对比控制，长度变化曲线与长度变化理想曲线进行曲线对比控制。

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