天津维普泰克科技发展有限公司王彬获国家专利权
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龙图腾网获悉天津维普泰克科技发展有限公司申请的专利基于多孔板与多传感器的晶圆部件驱动检测方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120740686B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511212277.5，技术领域涉及：G01D21/02；该发明授权基于多孔板与多传感器的晶圆部件驱动检测方法及系统是由王彬;王晓晨设计研发完成，并于2025-08-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于多孔板与多传感器的晶圆部件驱动检测方法及系统在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体制造设备检测技术领域，公开了基于多孔板与多传感器的晶圆部件驱动检测方法及系统，待检测部件类型确定检测策略，初始化传感器组件的工作模式；对传感器组件协同校准；在检测坐标系中标记初始位置；基于检测策略启动驱动部件动作，传感器组件分别对待检测部件的动作数据采集；采集的动作数据进行融合，重构三维运动轨迹；基于偏差，确定待检测部件的精度指数。通过多孔板实现传感器与驱动部件的标准化安装定位，结合多传感器协同校准与数据融合技术，解决了传统检测方法覆盖度低、数据空间对齐困难的问题，具有提升检测精度与覆盖度、实现多传感器数据空间对齐、增强动态协同检测能力的优点。
本发明授权基于多孔板与多传感器的晶圆部件驱动检测方法及系统在权利要求书中公布了：1.基于多孔板与多传感器的晶圆部件驱动检测方法，其特征在于，包括： 将待检测部件通过安装基座固定在多孔板上，并将驱动部件与所述待检测部件电性连接； 基于待检测部件类型确定检测策略，基于检测策略初始化对应的传感器组件的工作模式； 对所述传感器组件进行协同校准； 将待检测部件的安装位置和传感器校准后的位置在检测坐标系中标记初始位置； 基于检测策略启动驱动部件，驱动部件驱动待检测部件进行动作，同时传感器组件分别对所述待检测部件的动作数据进行采集； 对采集的动作数据进行数据融合，重构待检测部件的三维运动轨迹； 计算三维运动轨迹与标准轨迹的偏差，确定待检测部件的精度指数。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人天津维普泰克科技发展有限公司，其通讯地址为：300000 天津市滨海新区华苑产业区鑫茂科技园G-2-A5单元；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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