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龙图腾网获悉柯尔微电子装备(厦门)有限公司申请的专利晶圆检测设备及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120741510B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511258543.8，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权晶圆检测设备及方法是由胡俊林;郑隆结;孙会民设计研发完成，并于2025-09-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆检测设备及方法在说明书摘要公布了：本公开提供一种晶圆检测设备及方法，涉及半导体制造技术领域。所述设备包括基座平台、可活动设置于基座平台的晶圆载台、设置于晶圆载台上方的正面检测装置，以及设置于晶圆载台下方的背面检测装置。背面检测装置包括支撑晶圆的支撑部，支撑部内形成有容腔，容腔内填充透明液体以浸润晶圆背面蓝膜的外表面。本公开通过透明液体浸润消除蓝膜磨砂纹理导致的光线散射，同时通过支撑部支撑晶圆避免下垂问题，实现了无需翻转晶圆的正、反面同步检测，解决了现有技术中蓝膜成像障碍和自动化检测失效的技术问题。

本发明授权晶圆检测设备及方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆检测设备，其特征在于，包括： 基座平台； 晶圆载台，可活动地设置于所述基座平台，用于固定晶圆； 正面检测装置，设置于所述晶圆载台的上方，用于检测所述晶圆载台上的晶圆的正面缺陷； 背面检测装置，设置于所述晶圆载台的下方，并用于检测所述晶圆的背面缺陷，所述背面检测装置包括支撑所述晶圆的支撑部，所述支撑部内形成有用于容纳透明液体的容腔，所述透明液体用于浸润晶圆背面的蓝膜的外表面， 其中，所述背面检测装置包括：支撑头，其内部设置有通孔，所述通孔的孔壁上端形成所述支撑部，用于承载晶圆；透明板，由透明材料制成，且设置于所述通孔内，所述透明板的上表面低于通孔的上端面，以使所述透明板的外表面与通孔的内壁面之间形成所述容腔；光学模组，设置于所述支撑头下方并朝向所述透明板，用于透过所述透明板和所述容腔获取位于所述支撑部上的晶圆的背面图像；移动模组，设置于所述支撑头和或光学模组，用于驱动所述支撑头和光学模组相对移动，以调节光学模组与晶圆之间的距离， 其中，所述支撑头设置有注液通道，所述注液通道包括依次连通的注液接口和第一连通孔，所述第一连通孔延伸至所述容腔；所述支撑头在所述通孔外围环绕设置有环形凸台和储水槽，所述环形凸台构成所述支撑部，所述储水槽位于所述环形凸台的外周，并设置有由吸水材料构成的吸水环；所述支撑头还设置有出液通道，所述出液通道包括出液接口和第二连通孔，所述第二连通孔的一端与所述储水槽连接，另一端与所述出液接口连通。

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