广州普华智能装备股份有限公司李童明获国家专利权
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龙图腾网获悉广州普华智能装备股份有限公司申请的专利一种便于更换滤筒的晶圆加工除尘器获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223490650U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422965581.4,技术领域涉及:B01D46/24;该实用新型一种便于更换滤筒的晶圆加工除尘器是由李童明;李意;伊敏;邓威;刘傲傲;周焕;张逸豪;黄金威设计研发完成,并于2024-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种便于更换滤筒的晶圆加工除尘器在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种便于更换滤筒的晶圆加工除尘器,包括除尘器本体,所述除尘器本体的背部接触有后盖,所述除尘器本体的内部固定连接有支架,所述支架的内壁顶部接触有滤筒,所述后盖的内侧固定连接有密封垫,所述密封垫与除尘器本体滑动连接,所述后盖的内侧固定连接有连杆,所述连杆的内部滑动套接有导杆,所述导杆的外侧设置有第一弹簧。本实用新型通过设计后盖及密封垫的作用,可对除尘器本体背部进行封闭固定,通过滚珠与凹槽的插接,可将连杆进行限位,进而可将后盖与除尘器本体连接固定,通过向外侧直接拉动后盖即可实现滚珠与凹槽的分离,可方便的将后盖拆卸,便于内部结构的检修维护。
本实用新型一种便于更换滤筒的晶圆加工除尘器在权利要求书中公布了:1.一种便于更换滤筒的晶圆加工除尘器,包括除尘器本体1,其特征在于:所述除尘器本体1的背部接触有后盖2,所述除尘器本体1的内部固定连接有支架3,所述支架3的内壁顶部接触有滤筒4,所述后盖2的内侧固定连接有密封垫5,所述密封垫5与除尘器本体1滑动连接,所述后盖2的内侧固定连接有连杆6,所述连杆6的内部滑动套接有导杆7,所述导杆7的外侧设置有第一弹簧8,所述导杆7的外侧固定连接有滑块10,所述滑块10与连杆6滑动连接,所述滑块10的内部活动套接有滚珠11,所述滚珠11与除尘器本体1活动连接,所述滤筒4上设置有连接机构9。
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