苏州清芯卓半导体设备有限公司马红方获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州清芯卓半导体设备有限公司申请的专利一种晶圆清洗机用流量调节装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223491505U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422140006.0，技术领域涉及：B08B3/02；该实用新型一种晶圆清洗机用流量调节装置是由马红方;王伟设计研发完成，并于2024-09-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆清洗机用流量调节装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种晶圆清洗机用流量调节装置，涉及晶圆清洗技术领域，包括水泵；供水管，所述供水管连通且固定连接在水泵的进水端，实现为水泵进行供水；连接管，所述连接管连通且固定连接在水泵的输出端，实现将水泵和可控调节阀进行连接；可控调节阀，所述可控调节阀连通且固定连接在连接管的端部，实现控制水泵所输出的水压；密封装置，设置于连接管的端部，用于提升可控调节阀和连接管之间的密封性；阻断装置，设置于连接管的表面。本实用新型解决了设备在长时间运行后，容易导致连接管与可控调节阀之间的连接松动，连接管与可控调节阀之间若是出现泄漏就会导致水压不稳定，影响对晶圆进行冲洗的效率的问题。
本实用新型一种晶圆清洗机用流量调节装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗机用流量调节装置，其特征在于，包括： 水泵1； 供水管2，所述供水管2连通且固定连接在水泵1的进水端，实现为水泵1进行供水； 连接管3，所述连接管3连通且固定连接在水泵1的输出端，实现将水泵1和可控调节阀4进行连接； 可控调节阀4，所述可控调节阀4连通且固定连接在连接管3的端部，实现控制水泵1所输出的水压； 密封装置5，设置于连接管3的端部，用于提升可控调节阀4和连接管3之间的密封性； 阻断装置6，设置于连接管3的表面，用于隔断水泵1中的水不会流出。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州清芯卓半导体设备有限公司，其通讯地址为：215134 江苏省苏州市相城区渭塘镇凤南路99号1栋1楼B区；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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