苏州罗科装备技术有限公司杨新国获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州罗科装备技术有限公司申请的专利一种晶圆甩干设备的清洗喷射装置及甩干设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223491506U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422170729.5，技术领域涉及：B08B3/02；该实用新型一种晶圆甩干设备的清洗喷射装置及甩干设备是由杨新国;苏建斌;邱伟设计研发完成，并于2024-09-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆甩干设备的清洗喷射装置及甩干设备在说明书摘要公布了：一种晶圆甩干设备的清洗喷射装置及甩干设备，包括内转筒，以及设置在内转筒外部的外筒，内转筒由驱动装置驱动，所述外筒设有外喷洗装置，外喷洗装置包括至少一流体回路，以及与流体回路连通的喷口，喷口与内筒的侧壁对应设置，喷口喷出的清洗流体清洗内转筒的外壁，所述内转筒设有内喷洗装置，内喷洗装置位于内转筒的内腔中，内喷洗装置包括喷杆，喷杆设置在内转筒的旋转轴线上，喷杆设有喷射口，喷射口喷出的清洗流体清洗内转筒的内腔。本实用新型的技术方案用喷射清洗介质的方式代替了清洗介质的浸泡方式，节约了清洗介质的消耗；可实现更彻底有效、更直接高效的自洁作业，避免其工作腔室二次污染的产生。
本实用新型一种晶圆甩干设备的清洗喷射装置及甩干设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆甩干设备的清洗喷射装置，包括内转筒，以及设置在内转筒外部的外筒，内转筒由驱动装置驱动，其特征在于，所述外筒设有外喷洗装置，外喷洗装置包括至少一流体回路，以及与流体回路连通的喷口，喷口与内筒的侧壁对应设置，喷口喷出的清洗流体清洗内转筒的外壁，所述内转筒设有内喷洗装置，内喷洗装置位于内转筒的内腔中，内喷洗装置包括喷杆，喷杆设置在内转筒的旋转轴线上，喷杆设有喷射口，喷射口喷出的清洗流体清洗内转筒的内腔。
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