浙江晶瑞电子材料有限公司欧阳鹏根获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江晶瑞电子材料有限公司申请的专利晶片清洗装置及晶片加工设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223491516U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422625063.8，技术领域涉及：B08B3/02；该实用新型晶片清洗装置及晶片加工设备是由欧阳鹏根;盛永江;杨水淼;刘小琴;赵阳阳;李佳强;王启杭设计研发完成，并于2024-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶片清洗装置及晶片加工设备在说明书摘要公布了：本申请提供了一种晶片清洗装置及晶片加工设备，属于碳化硅晶体加工技术领域，解决了现有技术晶片清洗效果较差的问题。本申请包括：盘体；雾化喷嘴，所述雾化喷嘴为多个且分别设置于所述盘体上；以及旋转机构，所述旋转机构具有输出端，所述输出端作用于所述盘体以带动所述盘体旋转运动。本申请通过设置雾化喷嘴，以保证具有足够大的冲刷面积以及流体冲刷力，可以有效去除晶片上的残渣，并且通过设置旋转机构以驱动盘体旋转，从而实现旋转清洗晶片，赋予流体旋转方向的冲刷力，残渣可由晶片内侧向外周扩散，避免残渣流动方向混乱而造成残留，显著提高晶片的清洗效果。
本实用新型晶片清洗装置及晶片加工设备在权利要求书中公布了：1.一种晶片清洗装置，其特征在于，包括： 盘体100； 雾化喷嘴200，所述雾化喷嘴200为多个且分别设置于所述盘体100上；以及 旋转机构300，所述旋转机构300具有输出端310，所述输出端310作用于所述盘体100以带动所述盘体100旋转运动。
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