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龙图腾网获悉山东省半导体研究所申请的专利一种半导体镀膜生产用清洗设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223491535U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422916481.2，技术领域涉及：B08B3/02；该实用新型一种半导体镀膜生产用清洗设备是由王红波;李志峰设计研发完成，并于2024-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体镀膜生产用清洗设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体镀膜生产用清洗设备，包括：设备底座以及清洗箱，清洗箱安装在设备底座上壁面上，设备底座以及清洗箱上安装有多功能高压镀膜清洗结构；多功能高压镀膜清洗结构包含有：清洗腔、支撑座、排水固定台、一对固定夹具、旋转座、旋转管、一对喷淋管、第一锥形齿轮、驱动电机、第二锥形齿轮、储水箱、增压输送泵、输水管、一对高压喷气组件、集水箱以及一对封闭箱门；本实用新型涉及半导体生产设备技术领域，本案的有益效果为：解决了现有的半导体在进行镀膜加工完成后会出现残留，表面会附着有各种污染物，包括有机物、无机物、金属离子、颗粒物等，影响半导体的质量，会对半导体表面造成破坏的问题。

本实用新型一种半导体镀膜生产用清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体镀膜生产用清洗设备，包括：设备底座1以及清洗箱2，其特征在于，清洗箱2安装在设备底座1上壁面上，设备底座1以及清洗箱2上安装有多功能高压镀膜清洗结构； 多功能高压镀膜清洗结构包含有：清洗腔3、支撑座4、排水固定台5、一对固定夹具6、旋转座7、旋转管8、一对喷淋管9、第一锥形齿轮10、驱动电机11、第二锥形齿轮12、储水箱13、增压输送泵14、输水管15、一对高压喷气组件、集水箱16以及一对封闭箱门17； 清洗腔3开设在清洗箱2内部，支撑座4安装在清洗腔3内下壁面中间位置，排水固定台5安装在支撑座4上，一对固定夹具6安装在排水固定台5上壁面上，旋转座7嵌装在清洗箱2上壁面中间位置，旋转管8嵌装在旋转座7上，一对喷淋管9安装在旋转管8下端，第一锥形齿轮10套装在旋转管8上，驱动电机11安装在清洗箱2上壁面上，第二锥形齿轮12安装在驱动电机11输出端上，第一锥形齿轮10与第二锥形齿轮12相啮合，储水箱13安装在清洗箱2后方位置，增压输送泵14安装在储水箱13上，输水管15两端分别连接在增压输送泵14以及旋转管8上端，一对高压喷气组件安装在清洗箱2两侧壁面上，集水箱16安装在设备底座1下壁面上，一对封闭箱门17活动安装在清洗箱2前壁面开口位置。

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